感放射線性樹脂組成物

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：福沢俊明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-066164
公開番号（公開出願番号）：特開2003-337419
出願日： 2003年03月12日
公開日（公表日）： 2003年11月28日
要約：

【要約】【課題】放射線に対する透明性が高く、感度、解像度、ドライエッチング耐性、パターン形状等のレジストとしての基本性能に優れた化学増幅型レジストとして好適な感放射線性樹脂組成物を提供する。【解決手段】感放射線性樹脂組成物は、(A)(メタ)アクリル酸1-(2-ノルボルニル)-1-メチルエチル、(メタ)アクリル酸2-エチル-2-アダマンチル等で代表される(メタ)アクリル酸エステル類に由来する繰り返し単位と、下記式(i)または式(ii) で表される化合物等で代表されるラクトン骨格を有する(メタ)アクリル酸エステル類に由来する繰り返し単位とを含有し、酸の作用によりアルカリ可溶性となる樹脂、並びに(B)感放射線性酸発生剤を含有する。【化1】(但し、Rは水素原子またはメチル基を示す。)

請求項（抜粋）：

(A)下記一般式(1)に示す繰り返し単位(1-1)および繰り返し単位(1-2)(但し、繰り返し単位(1-1)に相当する単位を除く。)の群から選ばれる繰り返し単位の少なくとも1種と、下記一般式(2)に示す繰り返し単位(2-1)、繰り返し単位(2-2)および繰り返し単位(2-3)の群から選ばれるラクトン骨格を有する繰り返し単位の少なくとも1種とを含有し、酸の作用によりアルカリ可溶性となるアルカリ不溶性またはアルカリ難溶性の樹脂、並びに(B)感放射線性酸発生剤を含有することを特徴とする感放射線性樹脂組成物。【化1】〔一般式(1)において、R1 は水素原子あるいはメチル基を示し、A1 は単結合または-X1 -COO-(但し、X1 はメチレン基、炭素数10以下の直鎖状もしくは分岐状のアルキレン基または炭素数10以下の非有橋型もしくは有橋型の2価の脂環式炭化水素基を示す。)を示し、各R2 は相互に独立に炭素数1〜6の直鎖状もしくは分岐状のアルキル基を示し、R3 は水素原子、炭素数1〜6の直鎖状もしくは分岐状のアルキル基または炭素数1〜6の直鎖状もしくは分岐状の酸素含有有機基を示し、nは0または1であり、R4 は水素原子あるいはメチル基を示し、A2 は単結合または-X2 -COO-(但し、X2 はメチレン基、炭素数10以下の直鎖状もしくは分岐状のアルキレン基または炭素数10以下の非有橋型もしくは有橋型の2価の脂環式炭化水素基を示す。)を示し、各R5 は相互に独立に炭素数1〜4の直鎖状もしくは分岐状のアルキル基または炭素数4〜20の非有橋型もしくは有橋型の1価の脂環式炭化水素基を示し、かつ少なくとも1つのR5 が炭素数1〜4の直鎖状もしくは分岐状のアルキル基であるか、あるいは何れか2つのR5 が相互に結合して、それぞれが結合している炭素原子と共に炭素数4〜20の非有橋型もしくは有橋型の2価の脂環式炭化水素基を形成し、残りのR5 が炭素数1〜4の直鎖状もしくは分岐状のアルキル基を示す。〕【化2】〔一般式(2)において、R6 は水素原子あるいはメチル基を示し、A3 は単結合または-X3 -COO-(但し、X3 はメチレン基、炭素数10以下の直鎖状もしくは分岐状のアルキレン基または炭素数10以下の非有橋型もしくは有橋型の2価の脂環式炭化水素基を示す。)を示し、R7 は炭素数1〜6の直鎖状もしくは分岐状のアルキル基または炭素数1〜6の直鎖状もしくは分岐状の酸素含有有機基を示し、複数存在するR7 は相互に同一でも異なってもよく、iは0〜4の整数であり、jは0または1であり、kは1〜3の整数であり、R8 は水素原子あるいはメチル基を示し、Bはメチレン基、酸素原子または硫黄原子を示し、R9 は水素原子、炭素数1〜6の直鎖状もしくは分岐状のアルキル基または炭素数1〜6の直鎖状もしくは分岐状の酸素含有有機基を示し、R10は水素原子あるいはメチル基をし、R11は水素原子、炭素数1〜6の直鎖状もしくは分岐状のアルキル基または炭素数1〜6の直鎖状もしくは分岐状の酸素含有有機基を示す。〕

IPC (4件)：

G03F 7/039 601 , C08F220/18 , C08F220/28 , H01L 21/027

FI (4件)：

G03F 7/039 601 , C08F220/18 , C08F220/28 , H01L 21/30 502 R

Fターム (30件)：

2H025AA01 , 2H025AA02 , 2H025AA03 , 2H025AA09 , 2H025AB16 , 2H025AC04 , 2H025AC08 , 2H025AD03 , 2H025BE00 , 2H025BE10 , 2H025BG00 , 2H025CB14 , 2H025CB41 , 2H025FA17 , 4J100AL08P , 4J100AL08Q , 4J100AL08R , 4J100BA03R , 4J100BB18R , 4J100BC03P , 4J100BC08P , 4J100BC08R , 4J100BC09P , 4J100BC09R , 4J100BC53Q , 4J100CA04 , 4J100CA05 , 4J100CA06 , 4J100FA02 , 4J100JA37

引用特許：

審査官引用 (12件)

レジスト用(共)重合体およびレジスト組成物
公報種別：公開公報出願番号：特願2000-392856 出願人：三菱レイヨン株式会社
化学増幅型レジスト組成物
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-175976 出願人：三菱レイヨン株式会社
感放射線性樹脂組成物
公報種別：公開公報出願番号：特願2001-095877 出願人：ジェイエスアール株式会社

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