特許
J-GLOBAL ID：200903069838901005
電子放出源及びその製造方法、並びにその電子放出源を用いたディスプレイ装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
逢坂 宏
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-170671
公開番号（公開出願番号）：特開2001-006524
出願日： 1999年06月17日
公開日（公表日）： 2001年01月12日
要約：
【要約】 (修正有)【課題】 極薄型ディスプレイ装置用の、製造歩留まりが小さく、低電圧駆動が可能で効率のよい電子放出源。【解決手段】 電子放出源は、例えばガラス材よりなる下部基板1の表面上に帯状の複数本のカソード電極ライン2が形成され、その上に絶縁層3が成膜され、さらにその上にカソード電極ライン2と交差して帯状に複数本のゲート電極ライン4が形成され、カソード電極ライン2とゲート電極ライン4はマトリクス構造で、各カソード電極ライン2および各ゲート電極ライン4は制御手段15で駆動制御される。カソード電極ライン2とゲート電極ライン4の各交差領域では、ゲート電極ライン4、絶縁層3、厚さ方向の一部にカソード電極ライン2に臨む略円形の微細孔5を有し、凹み5aが微細孔5bの面積より大きく、微細孔5の底の微小な凹凸表面に電子放出薄膜としてカーボン薄膜7を被覆し、その表面はカソード電極ライン2の表面より下部基板1側に位置する。
請求項（抜粋）：
基体上に、カソード電極ラインと、絶縁層と、前記カソード電極ラインに交差するゲート電極ラインとがこの順に形成されていて、前記ゲート電極ラインと前記カソード電極ラインとが交差する領域において、前記ゲート電極ライン及び前記絶縁層を通して前記カソード電極ラインに達し、このカソード電極ラインの表面よりも深い微細孔を有する電子放出源であって、前記微細孔のうち前記カソード電極ラインの表面より下位の微細孔部分が前記絶縁層を貫通した微細孔部分を包含するように形成され、前記微細孔の底部に微小な凹凸を有し、前記微小な凹凸が電子放出物質からなる膜で被覆され、前記膜の表面は、前記カソード電極ラインの表面より前記基体側に位置することを特徴とする電子放出源。
IPC (4件)：
H01J 1/304
, H01J 9/02
, H01J 29/04
, H01J 31/12
H01J 1/30 F
, H01J 9/02 B
, H01J 29/04
, H01J 31/12 C
5C031DD09
, 5C031DD17
, 5C031DD19
, 5C036EE01
, 5C036EE03
, 5C036EE14
, 5C036EF01
, 5C036EF06
, 5C036EF09
, 5C036EG12
, 5C036EH08
, 5C036EH11
