特許
J-GLOBAL ID:200903070105805660

半導体装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 小川 勝男
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平9-003572
公開番号(公開出願番号):特開平10-200073
出願日: 1997年01月13日
公開日(公表日): 1998年07月31日
要約:
【要約】【課題】 周辺回路と同一膜厚の薄いゲート酸化を有するMOSトランジスタで構成される、耐圧に優れたワードドライバを提供する。【解決手段】 ワードドライバのPMOSトランジスタMP1, MP2のゲート電極材料をn+Siとし、電界緩和用MOSトランジスタを挿入した回路構成とする。また、電圧レベルの異なる二種類の共通ワード線RXp, Rxnによりワードドライバを制御する。【効果】 面積の増加をまねくこと無く、MOSトランジスタ耐圧問題を緩和し、高速に動作し信頼性の高いDRAMが実現できる。
請求項(抜粋):
複数のワード線と、前記複数のワード線と交差する複数のデータ線と、前記複数のワード線と前記複数のデータ線の所望の交点に配された複数のメモリセルと、前記複数のワード線の各々に対応して設けられ、アドレス信号から形成されたデコード信号と第1及び第2共通ワード線の信号に従って前記ワード線に第1電圧又は前記第1電圧より大きな電圧の第2電圧を出力する複数のワードドライバとを具備し、前記複数のワードドライバの各々は、ドレインまたはソースの何れか一方が前記第1共通ワード線に接続される第1導電形の第1MOSトランジスタと、ドレインまたはソースの何れか一方が前記第2共通ワード線に接続される第2導電形の第2MOSトランジスタとを有し、前記第1共通ワード線に前記第1電圧が供給されるとき、前記第2共通ワード線には第3電圧が供給され、前記第2共通ワード線に前記第2電圧が供給されるとき、前記第1共通ワード線には第4電圧が供給され、前記第3電圧は前記第1電圧よりも電圧が大きいことを特長とする半導体装置。
IPC (3件):
H01L 27/108 ,  H01L 21/8242 ,  G11C 11/407
FI (2件):
H01L 27/10 681 F ,  G11C 11/34 354 D
引用特許:
審査官引用 (7件)
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引用文献:
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