特許
J-GLOBAL ID：200903071097463271

テラヘルツ測定装置

発明者：
田中 要司

田中 要司 について

, 
赤堀 洋道

赤堀 洋道 について


出願人/特許権者：
株式会社栃木ニコン

株式会社栃木ニコン について

, 
株式会社ニコン

株式会社ニコン について


代理人 (2件)： 古谷 史旺 ,  森 俊秀
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-131493
公開番号（公開出願番号）：特開2006-308426
出願日： 2005年04月28日
公開日（公表日）： 2006年11月09日
要約：
【課題】本発明は、被検物の透過測定と反射測定とを効率的に行うことのできるテラヘルツ測定装置を提供することを目的とする。【解決手段】本発明のテラヘルツ測定装置は、テラヘルツ光で被検物(50)を照明する照明光学系(11,21,41,22,25,42)と、前記被検物から同時に発生した前記テラヘルツ光の透過光及び反射光をそれぞれ検出する検出光学系(23,24,12,43,26,27,13)とを備えたことを特徴とする。この装置によると、透過測定と反射測定との双方を、光路切り替えを伴わずに実施することができる。したがって、被検物(50)からの透過光と反射光との双方は、何れも無駄なく有効利用される。また、被検物(50)が状態変化する場合であっても、同じ状態での透過測定データと反射測定データとを取得することができる。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
テラヘルツ光で被検物を照明する照明光学系と、 前記被検物から同時に発生した前記テラヘルツ光の透過光及び反射光をそれぞれ検出する検出光学系と を備えたことを特徴とするテラヘルツ測定装置。
IPC (1件)：
G01N 21/35
FI (1件)：
G01N21/35 Z
Fターム (10件)：
2G059EE01 ,  2G059EE02 ,  2G059GG01 ,  2G059HH01 ,  2G059JJ13 ,  2G059JJ14 ,  2G059JJ22 ,  2G059JJ23 ,  2G059KK03 ,  2G059KK10
引用特許：
出願人引用 (2件) 審査官引用 (10件)
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