特許
J-GLOBAL ID：200903071646171245
ホトレジスト用剥離液
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
長谷川 洋子
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-392290
公開番号（公開出願番号）：特開2003-114539
出願日： 2001年12月25日
公開日（公表日）： 2003年04月18日
要約：
【要約】【課題】 Al、Cu両者の金属配線の防食性に優れ、かつホトレジスト膜およびアッシング後の残渣物の剥離性に優れるとともに、防食剤の析出を生じないホトレジスト用剥離液を提供する。【解決手段】 (a)フッ化水素酸と金属イオンを含まない塩基との塩、(b)水溶性有機溶媒、(c)メルカプト基含有防食剤、および(d)水を含有するホトレジスト用剥離液。(a)成分としてフッ化アンモニウムを用いた場合、さらに(e)フッ化水素酸と、特定の第4級アンモニウム水酸化物(例えばテトラメチルアンモニウムヒドロキシド、テトラプロピルアンモニウムヒドロキシド、等)および/またはアルカノールアミンとの塩を配合してもよい。
請求項（抜粋）：
(a)フッ化水素酸と金属イオンを含まない塩基との塩、(b)水溶性有機溶媒、(c)メルカプト基含有防食剤、および(d)水を含有する、ホトレジスト用剥離液。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G03F 7/42
, H01L 21/30 572 B
2H096AA25
, 2H096LA03
, 5F046MA02
