特許
J-GLOBAL ID：200903071765259835

振動子、および振動子の製造方法

発明者：
山本 泉

山本 泉 について

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加藤 晶子

加藤 晶子 について

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塩路 明弘

塩路 明弘 について


出願人/特許権者：
シチズンホールディングス株式会社

シチズンホールディングス株式会社 について


代理人 (1件)： 塩野入 章夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-300616
公開番号（公開出願番号）：特開2009-130445
出願日： 2007年11月20日
公開日（公表日）： 2009年06月11日
要約：
【課題】振動子の周波数調整において、電極パターンの電気容量の変化を低減し、電極パターンの浮遊容量の発生を抑制することで、振動子の精度を向上させる。【解決手段】振動部分に加えて固定部分を有する振動子において、振動部分に金属膜を付着することによって周波数調整を行う場合に、金属膜を付着する必要がない固定部分において、周波数調整用の金属膜が不可避的に付着する可能性がある部分に金属膜を予め形成しておく。金属膜を予め形成しておくことによって、周波数調整時に固定部分に調整用の金属膜が付着した場合であっても、電気的特性が変化しないようにすることで、電極パターンの電気容量の変化を低減し、また、電極パターンの浮遊容量の発生を抑制する。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
固定部と、所定間隔を開けて配置された振動部とを有する振動子において、 前記振動部は、その表面に前記振動部の振動周波数を調整するための周波数調整用金属膜を有し、 前記固定部は、前記固定部に設けられた電極の電気特性を安定化させる電気特性安定用金属膜を、その表面上であって前記周波数調整用金属膜と前記所定間隔を挟んで並列する位置に有することを特徴とする振動子。
IPC (9件)：
H03H 9/02 ,  G01C 19/56 ,  H03H 3/02 ,  H03H 3/04 ,  H03H 9/19 ,  H01L 41/09 ,  H01L 41/18 ,  H01L 41/22 ,  G01P 9/04
FI (9件)：
H03H9/02 M ,  G01C19/56 ,  H03H3/02 B ,  H03H3/04 B ,  H03H9/19 C ,  H01L41/08 C ,  H01L41/18 101A ,  H01L41/22 Z ,  G01P9/04
Fターム (15件)：
2F105AA02 ,  2F105AA03 ,  2F105BB03 ,  2F105BB04 ,  2F105BB07 ,  2F105BB13 ,  2F105BB14 ,  2F105CC01 ,  5J108AA09 ,  5J108BB02 ,  5J108CC11 ,  5J108FF01 ,  5J108KK06 ,  5J108MM14 ,  5J108NB05
引用特許：
出願人引用 (7件)
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審査官引用 (3件)

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