特許
J-GLOBAL ID：200903072755866179
圧電体薄膜素子及びインクジェット式記録ヘッド
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
上柳 雅誉
, 藤綱 英吉
, 宮坂 一彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-166229
公開番号（公開出願番号）：特開2006-324681
出願日： 2006年06月15日
公開日（公表日）： 2006年11月30日
要約：
【課題】製造中に膜内にクラックの発生がなく、高い圧電ひずみ定数を有するとともに、下電極との密着性が良好である圧電体薄膜素子を提供する。さらに、このような圧電体薄膜素子を用いた高精細な印字が可能となるインクジェット記録ヘッドを提供することにある。【解決手段】多結晶体からなる圧電体膜と、この圧電体膜を挟んで配置される上電極と下電極と、を備えた圧電体薄膜素子であって、前記圧電体膜の結晶体が、前記電極面に対して略垂直方向に形成されてなる。【選択図】図5
請求項（抜粋）：
多結晶体からなる圧電体膜と、この圧電体膜を挟んで配置される上電極と下電極と、を備えた圧電体薄膜素子であって、
前記圧電体膜の結晶体が、前記電極面に対して略垂直方向に形成されてなる圧電体薄膜素子。
IPC (8件)：
H01L 41/22
, B41J 2/045
, B41J 2/055
, B41J 2/16
, H01L 41/09
, H01L 41/187
, H01L 41/18
, C04B 35/49
H01L41/22 Z
, B41J3/04 103A
, B41J3/04 103H
, H01L41/08 J
, H01L41/18 101E
, H01L41/18 101F
, H01L41/18 101Z
, C04B35/49 R
2C057AF65
, 2C057AF93
, 2C057AG44
, 2C057AG92
, 2C057AG93
, 2C057AG99
, 2C057AP14
, 2C057AP52
, 2C057AQ02
, 2C057BA04
, 2C057BA14
, 4G031AA03
, 4G031AA11
, 4G031AA12
, 4G031AA14
, 4G031AA32
, 4G031AA40
, 4G031BA10
, 4G031CA01
, 4G031CA02
, 4G031CA04
, 4G031CA05
, 4G031CA08
, 4G031GA01
, 4G031GA02
, 4G031GA04
, 4G031GA06
, 4G031GA11
, 4K029BA50
, 4K029BB08
, 4K029BB10
, 4K029BC00
, 4K029CA05
, 4K029DC35
, 4K029DC39
, 4K029GA01
出願人引用 (5件)
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審査官引用 (8件)
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引用文献：
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