表示装置用アレイ基板の製造方法

発明者： , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：特許業務法人原謙三国際特許事務所
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-553045
公開番号（公開出願番号）：特表2008-537597
出願日： 2006年02月01日
公開日（公表日）： 2008年09月18日
要約：

本発明の表示装置用アレイは、フォトレジスト樹脂層が基板の表面に付着されるように、ポジティブ型フォトレジスト樹脂層が形成されているポジティブ型ドライフィルムレジストを支持体フィルムに付着することにより形成される。その後、基板の表面に付着されたフォトレジスト樹脂層から上記支持体フィルムを剥離し、上記樹脂層を露光してから、上記ポジティブ型ポジティブ型フォトレジスト層を現象して上記露光部分を除去する。

請求項（抜粋）：

支持体フィルムにポジティブ型フォトレジスト樹脂層が形成されているポジティブ型ドライフィルムレジストを、上記フォトレジスト樹脂層が基板の表面に付着されるように上記基板に付着する段階; 上記基板の表面に付着されたフォトレジスト樹脂層から支持体フィルムを剥離する段階; 上記樹脂層を露光させる段階;及び上記ポジティブ型フォトレジスト樹脂層内の露光部分を現像して除去する段階を含むことを特徴とする表示装置用アレイの製造方法。

IPC (9件)：

G03F 7/004 , H01L 21/336 , H01L 29/786 , G02F 1/136 , G03F 7/023 , G03F 7/38 , G03F 7/20 , G09F 9/00 , G09F 9/30

FI (12件)：

G03F7/004 512 , H01L29/78 612D , G02F1/1368 , G03F7/023 511 , G03F7/38 501 , G03F7/38 511 , G03F7/004 501 , G03F7/004 503Z , G03F7/20 501 , G09F9/00 338 , G09F9/30 338 , H01L29/78 627C

Fターム (59件)：

2H025AA01 , 2H025AA02 , 2H025AA04 , 2H025AA09 , 2H025AA10 , 2H025AA18 , 2H025AB11 , 2H025AB14 , 2H025AC01 , 2H025AD03 , 2H025BE01 , 2H025CA03 , 2H025CB29 , 2H025CC03 , 2H025CC20 , 2H025EA08 , 2H025EA10 , 2H025FA12 , 2H025FA17 , 2H092JA24 , 2H092MA04 , 2H092MA13 , 2H092MA15 , 2H092NA27 , 2H096AA28 , 2H096BA10 , 2H096CA16 , 2H096DA01 , 2H096EA02 , 2H096FA01 , 2H096GA09 , 2H097FA10 , 2H097LA12 , 5C094AA42 , 5C094AA43 , 5C094AA46 , 5C094BA03 , 5C094BA43 , 5C094CA19 , 5C094GB10 , 5C094JA20 , 5F110AA16 , 5F110AA30 , 5F110BB01 , 5F110CC07 , 5F110GG02 , 5F110GG15 , 5F110HK02 , 5F110HK09 , 5F110HK16 , 5F110HK21 , 5F110NN71 , 5F110NN72 , 5F110QQ01 , 5G435AA14 , 5G435AA17 , 5G435BB12 , 5G435KK05 , 5G435KK10

引用特許：

審査官引用 (13件)

液晶表示装置の製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2000-092389 出願人：シャープ株式会社
感光性樹脂組成物
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-295185 出願人：サンノプコ株式会社
感光性樹脂組成物
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-295183 出願人：サンノプコ株式会社

全件表示

前のページに戻る