特許
J-GLOBAL ID:200903074066295566

イメージセンサーパッケージの検査装置、その検査ユニット及び検査方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 特許業務法人高橋・林アンドパートナーズ
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2006-189559
公開番号(公開出願番号):特開2007-163453
出願日: 2006年07月10日
公開日(公表日): 2007年06月28日
要約:
【課題】イメージセンサーパッケージの検査装置、その検査ユニット及び検査方法を提供すること。【解決手段】イメージセンサーパッケージ(以下、ISPと称す)の良否をカメラモジュールに組み付ける前に自動的に検査することのできるISPの検査装置、その検査ユニット及び検査方法に関する。ISPの検査装置は、ISPがテストのために載置される載置ユニットと、ISPの上部にレンズ及び光源を設けて前記ISPを電気及びイメージテストする検査部と、ISPの電気及びイメージテストを行うテスターモジュールを有する制御及び処理ユニットと、を備える。また、ISPの検査方法は、ISPの良否を検査するテスターモジュールにISPを接続させる段階と、レンズを介して前記ISPに光を照射または遮断しながら、ISPの電気及びイメージテストを行う段階と、を含む。【選択図】図5
請求項(抜粋):
イメージセンサーパッケージの検査装置において、 イメージセンサーパッケージがテストのために載置される載置ユニットと、 イメージセンサーパッケージの上部にレンズ及び光源を設けて前記イメージセンサーパッケージを電気及びイメージテストする検査部と、 イメージセンサーパッケージの電気及びイメージテストを行うテスターモジュールを有する制御及び処理ユニットと、を備えることを特徴とするイメージセンサーパッケージの検査装置。
IPC (3件):
G01R 31/26 ,  H01L 31/02 ,  H01L 27/14
FI (3件):
G01R31/26 E ,  H01L31/02 A ,  H01L27/14 Z
Fターム (19件):
2G003AA09 ,  2G003AB02 ,  2G003AF06 ,  2G003AG01 ,  2G003AG03 ,  2G003AG08 ,  2G003AG11 ,  2G003AG14 ,  2G003AH01 ,  2G003AH05 ,  4M118AA09 ,  4M118AB01 ,  4M118GD02 ,  4M118HA02 ,  4M118HA20 ,  4M118HA25 ,  4M118HA31 ,  5F088BB03 ,  5F088JA20
引用特許:
審査官引用 (8件)
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