特許
J-GLOBAL ID:200903074066295566
イメージセンサーパッケージの検査装置、その検査ユニット及び検査方法
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
特許業務法人高橋・林アンドパートナーズ
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2006-189559
公開番号(公開出願番号):特開2007-163453
出願日: 2006年07月10日
公開日(公表日): 2007年06月28日
要約:
【課題】イメージセンサーパッケージの検査装置、その検査ユニット及び検査方法を提供すること。【解決手段】イメージセンサーパッケージ(以下、ISPと称す)の良否をカメラモジュールに組み付ける前に自動的に検査することのできるISPの検査装置、その検査ユニット及び検査方法に関する。ISPの検査装置は、ISPがテストのために載置される載置ユニットと、ISPの上部にレンズ及び光源を設けて前記ISPを電気及びイメージテストする検査部と、ISPの電気及びイメージテストを行うテスターモジュールを有する制御及び処理ユニットと、を備える。また、ISPの検査方法は、ISPの良否を検査するテスターモジュールにISPを接続させる段階と、レンズを介して前記ISPに光を照射または遮断しながら、ISPの電気及びイメージテストを行う段階と、を含む。【選択図】図5
請求項(抜粋):
イメージセンサーパッケージの検査装置において、
イメージセンサーパッケージがテストのために載置される載置ユニットと、
イメージセンサーパッケージの上部にレンズ及び光源を設けて前記イメージセンサーパッケージを電気及びイメージテストする検査部と、
イメージセンサーパッケージの電気及びイメージテストを行うテスターモジュールを有する制御及び処理ユニットと、を備えることを特徴とするイメージセンサーパッケージの検査装置。
IPC (3件):
G01R 31/26
, H01L 31/02
, H01L 27/14
FI (3件):
G01R31/26 E
, H01L31/02 A
, H01L27/14 Z
Fターム (19件):
2G003AA09
, 2G003AB02
, 2G003AF06
, 2G003AG01
, 2G003AG03
, 2G003AG08
, 2G003AG11
, 2G003AG14
, 2G003AH01
, 2G003AH05
, 4M118AA09
, 4M118AB01
, 4M118GD02
, 4M118HA02
, 4M118HA20
, 4M118HA25
, 4M118HA31
, 5F088BB03
, 5F088JA20
引用特許:
審査官引用 (8件)
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撮像素子試験方法及び装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願2003-432881
出願人:富士通株式会社
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特開昭60-015941
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テストバーンインボードハンドラ
公報種別:公開公報
出願番号:特願平9-361543
出願人:安藤電気株式会社
-
オートハンドラ
公報種別:公開公報
出願番号:特願2000-392773
出願人:安藤電気株式会社
-
ハンドラ
公報種別:公開公報
出願番号:特願平8-321576
出願人:横河プレシジョン株式会社
-
半導体集積回路の検査治具
公報種別:公開公報
出願番号:特願2004-002150
出願人:ユニテクノ株式会社
-
ICテスタ用分離型ハンドラシステム
公報種別:公開公報
出願番号:特願平7-070826
出願人:株式会社アドバンテスト
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半導体特性検査装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平8-278154
出願人:株式会社東芝
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