特許
J-GLOBAL ID:200903074389624828
転写装置
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (2件):
恩田 博宣
, 恩田 誠
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2003-172521
公開番号(公開出願番号):特開2004-074775
出願日: 2003年06月17日
公開日(公表日): 2004年03月11日
要約:
【課題】転写能率を向上することができるとともにパターンの形成を精度よく行うことができ、製品の熱による変形を抑制することができる転写装置を提供する。【解決手段】図1(a)に示すように、下部加熱板25の上面にパターン成形板47を載置する。このパターン成形板47の上面に素材46を載置する。素材46の上面にパターン成形板48を載置する。図1(b)に示すように下部加熱板25と上部加熱板38により素材46、パターン成形板47,48を挟んで加熱する。その後、図1(c)に示すように下部冷却体29及び上部冷却体42を下部加熱板25及び上部加熱板38に押圧して素材46にパターンを転写するとともに、加熱動作を停止して、素材46を冷却する。【選択図】 図1
請求項(抜粋):
素材の表裏両面のうち少なくとも片面に接触されて、素材の片面に所定のパターンを成形可能なパターン成形手段と、
上記パターン成形手段の外側に位置して該パターン成形手段が前記素材に接触された状態で該素材及びパターン成形手段を加熱するための加熱手段と、
前記素材に対し前記パターン成形手段を押圧するパターン押圧手段と、
パターン押圧手段による素材の押圧状態で該素材を冷却するための素材冷却手段とを備え、
前記加熱手段と素材冷却手段は個別に形成されていることを特徴とする転写装置。
IPC (2件):
FI (2件):
B29C59/02 B
, G02F1/13357
Fターム (25件):
2H091FA23Z
, 2H091FB02
, 2H091FC01
, 2H091FC19
, 2H091FC29
, 2H091LA12
, 2H091LA30
, 4F209AC03
, 4F209AD08
, 4F209AD20
, 4F209AF01
, 4F209AG01
, 4F209AG03
, 4F209AG05
, 4F209AG26
, 4F209AH73
, 4F209PA02
, 4F209PB01
, 4F209PC01
, 4F209PC05
, 4F209PH06
, 4F209PH09
, 4F209PN06
, 4F209PQ02
, 4F209PQ14
引用特許:
前のページに戻る