液晶表示装置用アクティブマトリクス基板およびその製造方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：京本直樹 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-321684
公開番号（公開出願番号）：特開2001-142093
出願日： 1999年11月11日
公開日（公表日）： 2001年05月25日
要約：

【要約】【課題】逆スタガ型薄膜トランジスタを用いた液晶表示装置用アクティブマトリクス基板の製造工程の簡略化を図る。【解決手段】逆スタガ型薄膜トランジスタを用いた、横電界型液晶表示装置用アクティブマトリクス基板において、ゲート電極19、コモン電極13、ゲートバス配線、コモンバス配線24をAl膜または第1のAl合金膜で構成され、ソース・ドレイン電極17,18、ドレインバス配線25を第2のAl合金膜の単層膜で構成する。また、ゲート端子およびドレイン端子として下層を前記Al膜または前記第1のAl合金膜とし、上層を前記第2のAl合金膜の多層膜で構成し、前記第2のAl合金膜を形成する際に下地を高周波スパッタエッチしてソース・ドレイン電極とn型半導体層15等の接触抵抗を低減する。

請求項（抜粋）：

逆スタガ型薄膜トランジスタを用いた、横電界型液晶表示装置用アクティブマトリクス基板において、ゲート電極、コモン電極、ゲートバス配線、コモンバス配線をAl膜または第1のAl合金膜とし、ソース電極、ドレイン電極、ドレインバス配線を第2のAl合金膜とし、外部駆動回路接続用のゲート端子およびドレイン端子をその下層が前記Al膜または前記第1のAl合金膜で上層が前記第2のAl合金膜の多層膜で構成されていることを特徴とする液晶表示装置用アクティブマトリクス基板。

IPC (5件)：

G02F 1/1365 , G02F 1/1343 , G09F 9/30 338 , H01L 21/3205 , H01L 29/786

FI (5件)：

G02F 1/1343 , G09F 9/30 338 , G02F 1/136 500 , H01L 21/88 N , H01L 29/78 612 C

Fターム (89件)：

2H092GA42 , 2H092JA26 , 2H092JA40 , 2H092JA44 , 2H092JA47 , 2H092JB07 , 2H092JB24 , 2H092JB33 , 2H092KA05 , 2H092KA10 , 2H092KA18 , 2H092KB04 , 2H092MA05 , 2H092MA13 , 2H092MA18 , 2H092NA18 , 2H092NA27 , 2H092NA28 , 2H092NA29 , 2H092PA01 , 2H092PA12 , 5C094AA12 , 5C094AA24 , 5C094AA31 , 5C094AA43 , 5C094AA44 , 5C094AA48 , 5C094AA53 , 5C094BA03 , 5C094BA43 , 5C094CA19 , 5C094DA13 , 5C094DB01 , 5C094DB02 , 5C094DB04 , 5C094EA04 , 5C094EA05 , 5C094EA06 , 5C094EA07 , 5C094EB02 , 5C094EB04 , 5C094FA01 , 5C094FA02 , 5C094FB12 , 5C094FB14 , 5C094FB15 , 5C094GB10 , 5F033GG04 , 5F033HH09 , 5F033HH10 , 5F033JJ09 , 5F033JJ10 , 5F033KK08 , 5F033KK09 , 5F033KK10 , 5F033MM05 , 5F033QQ09 , 5F033QQ14 , 5F033QQ37 , 5F033QQ92 , 5F033QQ94 , 5F033RR06 , 5F033SS15 , 5F033VV07 , 5F033VV15 , 5F033XX09 , 5F033XX33 , 5F033XX34 , 5F110AA16 , 5F110AA30 , 5F110CC07 , 5F110DD02 , 5F110EE03 , 5F110EE06 , 5F110EE36 , 5F110EE38 , 5F110EE44 , 5F110FF03 , 5F110FF30 , 5F110GG02 , 5F110GG15 , 5F110HL03 , 5F110HL06 , 5F110HL11 , 5F110HL23 , 5F110HL26 , 5F110NN01 , 5F110NN24 , 5F110NN35

引用特許：

審査官引用 (10件)

液晶表示装置及びその作製方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-327980 出願人：株式会社半導体エネルギー研究所
表示装置用アレイ基板及びこのアレイ基板を備えた平面表示装置並びにこのアレイ基板の製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-077224 出願人：株式会社東芝
反射型液晶表示装置とその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-293977 出願人：株式会社日立製作所

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