特許
J-GLOBAL ID：200903075195571827

感光性組成物、該感光性組成物に用いる化合物及び該感光性組成物を用いたパターン形成方法

発明者：
児玉 邦彦

児玉 邦彦 について


出願人/特許権者：
富士写真フイルム株式会社

富士写真フイルム株式会社 について


代理人 (5件)： 小栗 昌平 ,  本多 弘徳 ,  市川 利光 ,  高松 猛 ,  濱田 百合子
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-038307
公開番号（公開出願番号）：特開2005-227680
出願日： 2004年02月16日
公開日（公表日）： 2005年08月25日
要約：
【課題】 IC等の半導体製造工程、液晶、サーマルヘッド等の回路基板の製造、さらにその他のフォトファブリケーション工程などに使用される感光性組成物、該感光性組成物に用いる化合物及び該感光性組成物を用いたパターン形成方法であり、感度、解像力及びデフォーカスラチィチュード(DOF)に優れた感光性組成物、該感光性組成物に用いる化合物及び該感光性組成物を用いたパターン形成方法を提供する。【解決手段】 活性光線又は放射線の照射により酸を発生する化合物である-SO2-結合を有するカチオンを有するスルホニウム塩(A)、当該スルホニウム塩を含有する感光性組成物、及び、当該感光性組成物を用いたパターン形成方法。
請求項（抜粋）：
一般式(I)で表されるカチオンを有するスルホニウム塩(A)を含有することを特徴とする感光性組成物。
IPC (5件)：
G03F7/004 ,  C07C381/12 ,  G03F7/038 ,  G03F7/039 ,  H01L21/027
FI (5件)：
G03F7/004 503A ,  C07C381/12 ,  G03F7/038 601 ,  G03F7/039 601 ,  H01L21/30 502R
Fターム (18件)：
2H025AA00 ,  2H025AA01 ,  2H025AA02 ,  2H025AB14 ,  2H025AB15 ,  2H025AB16 ,  2H025AC04 ,  2H025AC08 ,  2H025AD01 ,  2H025AD03 ,  2H025BE07 ,  2H025BE10 ,  2H025BG00 ,  2H025CB42 ,  2H025CC17 ,  4H006AA01 ,  4H006AA03 ,  4H006AB92
引用特許：
出願人引用 (11件)
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審査官引用 (13件)
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引用文献：
審査官引用 (1件)
  • JOEM Handbook 3 イメージング用有機材料, 19971016, 74-76

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