特許
J-GLOBAL ID:200903075754028608
切断装置及び切断方法
発明者:
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出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2004-047760
公開番号(公開出願番号):特開2005-238246
出願日: 2004年02月24日
公開日(公表日): 2005年09月08日
要約:
【課題】異種材料からなる部材を切断する際に、ばりの発生、回転刃の短寿命化、効率の低下、及び環境に与える負荷の増大が生じる点である。【解決手段】成形体13を切断する切断装置に、成形体13が有する異種材料を各々切断する目的に適した波長を有するレーザ光基本波3とレーザ光第2高調波4とを発生させるレーザ光発生手段5と、成形体13に対してレーザ光9を照射する照射手段12と、成形体13が固定される吸着台18と、成形体13と照射手段12とを相対的に移動させる移動手段とを備える。成形体13は、基板14と、基板14の複数の領域15に各々装着されたチップ16と、チップ16を一括して樹脂封止する封止樹脂17とを有し、基板14を照射手段12に対向させて固定されている。レーザ光第2高調波4により基板14を照射してこれを切断した後に、レーザ光基本波3により封止樹脂17を照射する。【選択図】図1
請求項(抜粋):
異種材料からなる部材にレーザ光を照射することにより前記部材を切断する切断装置であって、
前記部材に含まれる材料を各々切断する目的に適した1又は複数の波長を有するレーザ光を発生させるレーザ光発生手段と、
前記部材に対して前記1又は複数の波長を有するレーザ光を照射する照射手段と、
前記部材が固定される固定手段と、
前記部材と前記照射手段とを相対的に移動させる移動手段とを備えることを特徴とする切断装置。
IPC (3件):
B23K26/00
, B23K26/06
, H05K3/00
FI (3件):
B23K26/00 320E
, B23K26/06 A
, H05K3/00 N
Fターム (5件):
4E068AE00
, 4E068CA04
, 4E068CD02
, 4E068DA11
, 4E068DB14
引用特許:
出願人引用 (1件)
審査官引用 (13件)
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レーザ加工装置およびその方法
公報種別:公開公報
出願番号:特願平9-153921
出願人:日本電気株式会社
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電子部品のリード切断方法
公報種別:公開公報
出願番号:特願2002-045862
出願人:新日本無線株式会社
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半導体ウエーハの分割方法および分割装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願2002-178182
出願人:株式会社ディスコ
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レーザ加工装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平4-261542
出願人:オリンパス光学工業株式会社
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レーザー加工装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平11-040945
出願人:ファイン・マシニング株式会社
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特開平3-276662
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特開平3-276662
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レーザ加工方法、レーザ加工装置および多層配線基板の製造方法
公報種別:公開公報
出願番号:特願2001-007229
出願人:株式会社東芝
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特開平3-276662
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半導体装置の製造方法
公報種別:公開公報
出願番号:特願2002-027041
出願人:株式会社日立製作所, 株式会社アキタ電子システムズ
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特開昭61-220346
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レーザマーカ
公報種別:公開公報
出願番号:特願平7-340299
出願人:株式会社日立製作所
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集塵ダクト装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願2000-322904
出願人:松下電器産業株式会社
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