特許
J-GLOBAL ID：200903077536589510

固体撮像装置及び撮像システム

発明者：
小泉 徹

小泉 徹 について

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沖田 彰

沖田 彰 について

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板野 哲也

板野 哲也 について

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橋本 栄

橋本 栄 について

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三島 隆一

三島 隆一 について


出願人/特許権者：
キヤノン株式会社

キヤノン株式会社 について


代理人 (2件)： 西山 恵三 ,  内尾 裕一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-343357
公開番号（公開出願番号）：特開2006-156611
出願日： 2004年11月29日
公開日（公表日）： 2006年06月15日
要約：
【課題】 複数の配線層を有する固体撮像装置における、配線上に形成されたパッシベーション膜と層間絶縁膜の界面による反射光と、受光面上での反射光とのリップルを低減させて、色ムラを低減させることを目的とする。【解決手段】 本発明は、基板に受光部102が配置され、前記基板上に複数の配線層(104〜108)を有し、該配線層の少なくとも一つは略平坦な第1の絶縁膜(107)上に配置されている固体撮像装置であって、前記第1の絶縁膜上に配置された配線層(108)上に、前記第1の絶縁膜と接する部分を有し、且つ該第1の絶縁膜と屈折率の異なる第2の絶縁膜(109)を有し、前記受光部上の少なくとも一部に、膜厚方向に2種類以上の異なる屈折率(112,113)を有する部分を含む第3の絶縁膜を有することを特徴とする固体撮像装置。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
基板に受光部が配置され、前記基板上に複数の配線層を有し、該配線層の少なくとも一つは略平坦な第1の絶縁膜上に配置されている固体撮像装置であって、 前記第1の絶縁膜上に配置された配線層上に、前記第1の絶縁膜と接する部分を有し、且つ該第1の絶縁膜と屈折率の異なる第2の絶縁膜を有し、前記受光部上の少なくとも一部に、膜厚方向に2種類以上の異なる屈折率を有する部分を含む第3の絶縁膜を有することを特徴とする固体撮像装置。
IPC (2件)：
H01L 27/14 ,  H04N 5/335
FI (3件)：
H01L27/14 D ,  H04N5/335 E ,  H04N5/335 U
Fターム (19件)：
4M118AA05 ,  4M118AB01 ,  4M118BA14 ,  4M118CA04 ,  4M118CA09 ,  4M118CA34 ,  4M118CB13 ,  4M118DD04 ,  4M118DD12 ,  4M118FA34 ,  4M118FA42 ,  4M118GC07 ,  4M118GD04 ,  4M118GD07 ,  5C024CX01 ,  5C024EX43 ,  5C024EX52 ,  5C024GX07 ,  5C024GY31
引用特許：
出願人引用 (4件)
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審査官引用 (9件)
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