特許
J-GLOBAL ID：200903079718009422
窒化ガリウムウエハ
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
川瀬 茂樹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-166904
公開番号（公開出願番号）：特開2002-356398
出願日： 2001年06月01日
公開日（公表日）： 2002年12月13日
要約：
【要約】【課題】 これまで実在しなかった窒化ガリウムの円形ウエハを実用的な形にして初めて提供すること。【解決手段】 1016cm-3〜1020cm-3の濃度で酸素ドープされた六方晶系で{0001}面方位の窒化ガリウム単結晶よりなり透明であって独立した円形のウエハであって表面側と裏面側から外周部を5 ゚〜30 ゚の傾斜角でC面取りしたり、0.1〜0.5mmの半径のR面取りをする。方位を指定するOFを一つあるいは二つ付ける。
請求項（抜粋）：
六方晶系で{0001}面方位の窒化ガリウム単結晶よりなり、透明であって独立した円形のウエハであって表面側と裏面側から外周部を5 ゚〜30 ゚の傾斜角で面取りしたことを特徴とする窒化ガリウムウエハ。
IPC (2件)：
C30B 29/38
, H01L 21/304 621
C30B 29/38 D
, H01L 21/304 621 E
4G077AA02
, 4G077AA03
, 4G077BE15
, 4G077DB04
, 4G077EB01
, 4G077ED06
, 4G077EE07
, 4G077FJ03
, 4G077HA02
, 4G077TB02
, 4G077TK11
