走査電子顕微鏡

発明者： , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：平木祐輔
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-122886
公開番号（公開出願番号）：特開2007-294328
出願日： 2006年04月27日
公開日（公表日）： 2007年11月08日
要約：

【課題】観察試料上に蒸気を効率良く均一導入することのできる走査電子顕微鏡を提供する。【解決手段】電子銃室と対物レンズを含む電子光学系鏡体部を高真空に維持し、試料室を指定の真空圧力の低真空雰囲気にする低真空雰囲気型走査電子顕微鏡であって、蒸気を導入する蒸気導入ノズルを備え、前記蒸気導入ノズルは、下向きのノズル口と、前記ノズル口が照射電子ビームの経路上にある使用位置にあるときに照射電子ビームが通過する電子ビーム通過部とを有する。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

電子銃室と対物レンズを含む電子光学系鏡体部を高真空に維持し、試料室を指定の真空圧力の低真空雰囲気にする低真空雰囲気型走査電子顕微鏡であって、蒸気を導入する蒸気導入ノズルを備え、前記蒸気導入ノズルは、下向きのノズル口と、前記ノズル口が照射電子ビームの経路上にある使用位置にあるときに照射電子ビームが通過する電子ビーム通過部とを有することを特徴とする走査電子顕微鏡。

IPC (2件)：

H01J 37/20 , H01J 37/28

FI (2件)：

H01J37/20 F , H01J37/28 B

Fターム (6件)：

5C001AA01 , 5C001AA08 , 5C001BB07 , 5C001CC04 , 5C033UU03 , 5C033UU10

引用特許：

出願人引用 (1件)

環境制御型走査型電子顕微鏡
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-043247 出願人：株式会社ニコン

審査官引用 (8件)

走査電子顕微鏡
公報種別：公開公報出願番号：特願2000-329793 出願人：株式会社日立製作所, 株式会社日立サイエンスシステムズ
荷電粒子ビーム装置のガス吹き付けノズル及び荷電粒子ビーム装置並びに加工方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2005-023022 出願人：エスアイアイ・ナノテクノロジー株式会社
特開平4-370640

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