特許
J-GLOBAL ID：200903081019476800
微小凹部の作製方法、切断方法、及び微小凹部作製装置
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
大菅 義之
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-153140
公開番号（公開出願番号）：特開2006-326633
出願日： 2005年05月25日
公開日（公表日）： 2006年12月07日
要約：
【課題】 材料を限定することなく、表面粗さが平坦で高精度な凹部微細形状を作製する手法を提供する。【解決手段】 被加工物12の表面に任意形状のマスクを設けておき、その被加工物12の表面へガスクラスターイオンビーム10を照射する。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
被加工物の表面に微小な凹部を作製する方法であって、
前記表面に任意形状のマスクを設け、
前記マスクが設けられた前記表面へガスクラスターイオンビームを照射する、
ことを特徴とする微小凹部の作製方法。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (3件)：
4E066AA01
, 4E066BA13
, 4E066CB16
出願人引用 (10件)
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審査官引用 (1件)
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