ドライエッチングによる微細加工用ガラス材料

発明者： ,
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-215951
公開番号（公開出願番号）：特開2004-059329
出願日： 2002年07月25日
公開日（公表日）： 2004年02月26日
要約：

【課題】優れた光学性能を有する素子を、エッチング法によって精度良く高速に形成できる新規なガラス材料、及び該ガラス材料から得られる光学素子等として有用な微細加工体を提供する。【解決手段】GeO2、B2O3、P2O5、Al2O3及びフッ素からなる群から選ばれた少なくとも一種の添加成分を含むSiO2を主成分とするガラスからなる、ドライエッチングによる微細加工用ガラス材料、該ガラス材料をドライエッチング法によって加工することを特徴とするガラス材料の微細加工方法、及びドライエッチング加工して得られる微細加工体。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

GeO2、B2O3、P2O5、Al2O3及びフッ素からなる群から選ばれた少なくとも一種の添加成分を含むSiO2を主成分とするガラスからなる、ドライエッチングによる微細加工用ガラス材料。

IPC (9件)：

C03C3/118 , C03C3/083 , C03C3/089 , C03C3/091 , C03C3/097 , C03C3/112 , C03C3/115 , C03C15/00 , G02B5/18

FI (9件)：

C03C3/118 , C03C3/083 , C03C3/089 , C03C3/091 , C03C3/097 , C03C3/112 , C03C3/115 , C03C15/00 A , G02B5/18

Fターム (87件)：

2H049AA37 , 2H049AA44 , 2H049AA45 , 2H049AA59 , 4G059AA11 , 4G059AB05 , 4G059AB19 , 4G059AC01 , 4G059BB01 , 4G062AA04 , 4G062BB01 , 4G062BB05 , 4G062CC07 , 4G062CC10 , 4G062DA05 , 4G062DA06 , 4G062DA07 , 4G062DA08 , 4G062DB01 , 4G062DB02 , 4G062DB03 , 4G062DB04 , 4G062DC01 , 4G062DC02 , 4G062DC03 , 4G062DC04 , 4G062DD01 , 4G062DD02 , 4G062DD03 , 4G062DD04 , 4G062DE01 , 4G062DF01 , 4G062EA01 , 4G062EA10 , 4G062EB01 , 4G062EC01 , 4G062ED01 , 4G062EE01 , 4G062EF01 , 4G062EG01 , 4G062FA01 , 4G062FA10 , 4G062FB01 , 4G062FC01 , 4G062FD01 , 4G062FD02 , 4G062FD03 , 4G062FD04 , 4G062FD05 , 4G062FD06 , 4G062FE01 , 4G062FF01 , 4G062FG01 , 4G062FH01 , 4G062FJ01 , 4G062FK01 , 4G062FL01 , 4G062GA01 , 4G062GA10 , 4G062GB01 , 4G062GC01 , 4G062GD01 , 4G062GE01 , 4G062GE02 , 4G062GE03 , 4G062HH01 , 4G062HH03 , 4G062HH05 , 4G062HH07 , 4G062HH09 , 4G062HH11 , 4G062HH13 , 4G062HH15 , 4G062HH17 , 4G062HH20 , 4G062JJ01 , 4G062JJ03 , 4G062JJ05 , 4G062JJ07 , 4G062JJ10 , 4G062KK01 , 4G062KK03 , 4G062KK05 , 4G062KK07 , 4G062KK10 , 4G062MM02 , 4G062NN01

引用特許：

審査官引用 (10件)

ガラス、光学部材ならびに電気泳動装置用部材およびその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2000-306391 出願人：住友金属工業株式会社
光伝送線路およびそのモードフィールド径変換方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-182369 出願人：住友電気工業株式会社
光導波路の製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-313259 出願人：三菱電機株式会社

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