特許
J-GLOBAL ID：200903081295037313

点欠陥検出装置及びその方法

発明者：
渥美 誠志

渥美 誠志 について

, 
野田 正明

野田 正明 について

, 
齋藤 雅夫

齋藤 雅夫 について


出願人/特許権者：
セイコーエプソン株式会社

セイコーエプソン株式会社 について


代理人 (1件)： 佐々木 宗治 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-036661
公開番号（公開出願番号）：特開2001-228051
出願日： 2000年02月15日
公開日（公表日）： 2001年08月24日
要約：
【要約】【課題】 光変調装置上の点欠陥を検査員の目視検査ではなく、自動的にかつ正確に検出することができ、微弱な輝点欠陥を検出することのできる点欠陥検出装置及びその方法を提供する。【解決手段】 処理装置6は、画像データに含まれる、画像撮り込み装置のノイズを除去するノイズ除去機能と、ノイズ除去された画像データに対し、空間フィルタを使用して畳み込み演算処理を行い、光変調装置の点欠陥部を強調する点欠陥強調機能と、点欠陥部が強調された画像データを二値化し、光変調装置の点欠陥部のみのマスク画像を生成する二値化機能と、マスク画像と画像データを合成する画像合成機能と、画像合成機能により合成された画像データに基づいて、光変調装置上の点欠陥情報を検出する点欠陥検出機能とを含む。
請求項（抜粋）：
光変調装置と、前記光変調装置に表示された画像パターンを撮り込む画像撮り込み装置と、前記画像撮り込み装置により撮り込まれた画像データを演算する処理装置と、を備えた点欠陥検出装置において、前記処理装置は、前記画像撮り込み装置により撮り込まれた画像データに含まれる、前記画像撮り込み装置のノイズを除去するノイズ除去機能と、前記ノイズ除去機能によりノイズ除去された画像データに対し、空間フィルタを使用して畳み込み演算処理を行い、前記光変調装置の点欠陥部を強調する点欠陥強調機能と、前記点欠陥強調機能により光変調装置の点欠陥部が強調された画像データを二値化し、前記光変調装置の点欠陥部のみのマスク画像を生成する二値化機能と、前記二値化機能で生成されたマスク画像を、前記画像撮り込み装置に撮り込んだ画像データに合成する画像合成機能と、前記画像合成機能により合成された画像データに基づいて、前記光変調装置上の点欠陥情報を検出する点欠陥検出機能とを含むことを特徴とする点欠陥検出装置。
IPC (2件)：
G01M 11/00 ,  G02F 1/13 101
FI (2件)：
G01M 11/00 T ,  G02F 1/13 101
Fターム (6件)：
2G086EE10 ,  2H088EA12 ,  2H088FA13 ,  2H088FA30 ,  2H088HA06 ,  2H088MA20
引用特許：
出願人引用 (9件)
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