特許
J-GLOBAL ID：200903081445013078
多結晶シリコンの製造装置
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-060655
公開番号（公開出願番号）：特開2006-240934
出願日： 2005年03月04日
公開日（公表日）： 2006年09月14日
要約：
【課題】特別な材質や特異な形状の電極、ホルダーを使用しなくとも、シリコンロッドのクラック発生を十分に低減させることができる多結晶シリコンの製造装置を提供する。【解決手段】逆U字型のシリコン芯線の各端部を一対の電極上にそれぞれ通電可能に取り付けた多結晶シリコンの製造装置において、該シリコン芯線の端部が、これを保持する導電性のホルダーを介して電極と電気的に接続され、かつ、少なくとも一方のホルダーが、電極面上を少なくとも逆U字型のシリコン芯線の両端を結ぶ直線方向の左右方向何れの方向にも摺動可能であるたことを特徴とする多結晶シリコンの製造装置である。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
逆U字型のシリコン芯線の各端部を一対の電極上にそれぞれ通電可能に取り付けた多結晶シリコンの製造装置において、該シリコン芯線の端部が、これを保持する導電性のホルダーを介して電極と電気的に接続され、かつ、少なくとも一方のホルダーが、電極面上を少なくとも逆U字型のシリコン芯線の両端を結ぶ直線方向の左右何れの方向にも摺動可能であることを特徴とする多結晶シリコンの製造装置。
IPC (2件)：
C01B 33/035
, H01L 21/203
C01B33/035
, H01L21/203 Z
4G072AA03
, 4G072BB12
, 4G072GG01
, 4G072HH01
, 4G072RR28
, 4G072UU01
, 4G072UU02
, 5F103AA01
, 5F103BB01
, 5F103DD16
, 5F103GG03
, 5F103LL04
, 5F103LL14
, 5F103RR01
出願人引用 (2件)
審査官引用 (10件)
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