特許
J-GLOBAL ID：200903082056434730
化学的気相成長装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
三好 秀和 (外8名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-280884
公開番号（公開出願番号）：特開平11-117070
出願日： 1997年10月14日
公開日（公表日）： 1999年04月27日
要約：
【要約】【課題】 本発明は、成膜時間の短縮及び原料の節約を達成することを目的とする。【解決手段】 化学的蒸気を輸送する輸送管途上に配設され、入口バルブ17a、17b、17cの閉口時には対応する原料蒸気発生器16a、16b、16cで発生した化学的蒸気を一時的に貯蔵、入口バルブ17a、17b、17cの開口時には当該原料蒸気発生器16a、16b、16cで発生した化学的蒸気とともに一時的に貯蔵した化学的蒸気を反応器10に送出する原料蒸気貯蔵容器18a、18b、18cを有することを特徴とする。
請求項（抜粋）：
種類の異なる化学的蒸気を複数の原料蒸気発生器でそれぞれ発生させ、該発生させた化学的蒸気を輸送管で輸送し、入口バルブを間欠的に開閉動作させて複数の前記化学的蒸気の少なくとも1種を反応器に周期的に導入し、該反応器に内置した加熱基板に薄膜を成膜する化学的気相成長装置において、前記輸送管途上に配設され、前記入口バルブの閉口時には対応する前記原料蒸気発生器で発生した化学的蒸気を一時的に貯蔵し、前記入口バルブの開口時には当該原料蒸気発生器で発生した化学的蒸気とともに前記一時的に貯蔵した化学的蒸気を前記反応器に送出する原料蒸気貯蔵容器を有することを特徴とする化学的気相成長装置。
IPC (2件)：
FI (3件)：
C23C 16/44 C
, C23C 16/44 D
, C30B 25/14
