特許
J-GLOBAL ID：200903082173864037
マイクロポンプ及びその製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
春日 讓
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-047003
公開番号（公開出願番号）：特開2000-249074
出願日： 1999年02月24日
公開日（公表日）： 2000年09月12日
要約：
【要約】【課題】圧電素子のダイアフラムへの接合位置決めが容易であるとともに、マイクロポンプの吐出特性のばらつきが改善され、作業性が向上し、歩留も向上可能なマイクロポンプを実現する。【解決手段】マイクロポンプはダイアフラム1を有するダイアフラム基板2と、バルブ基板3及びバルブ基板4とを備え、バルブ基板3には吸入バルブ5が形成されバルブ基板4には吐出バルブ6が形成されている。ダイアフラム基板2のダイアフラム1には圧電素子7に形成された電極板8よりも小さな島状凸部9が形成されている。圧電素子7接合部に圧電素子電極板8より小さな島状凸部9を設けることにより圧電素子7と島状凸部9との接合位置ずれが生じてもダイアフラム1の変位量のばらつきが低減され、ポンプ吐出特性のばらつきが低減される。
請求項（抜粋）：
吸入バルブ及び吐出バルブを有するポンプ室と、このポンプ室の一面を形成するダイアフラムと、このダイアフラムに接合された圧電素子とを備えるマイクロポンプにおいて、上記ダイアフラムの圧電素子と接合される側の部分に、圧電素子に形成された電極板のサイズより小さなサイズの島状凸部が形成され、上記圧電素子と上記島状凸部とは、上記圧電素子に形成された電極板の領域内に島状凸部が収まるように接合されていることを特徴とするマイクロポンプ。
Fターム (10件)：
3H077AA06
, 3H077BB10
, 3H077CC02
, 3H077CC09
, 3H077DD06
, 3H077EE34
, 3H077EE35
, 3H077EE40
, 3H077FF08
, 3H077FF36
