特許
J-GLOBAL ID：200903082692231092

洩れ検査方法及び洩れ検査装置

発明者：
飯田 明由

飯田 明由 について

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金野 祥久

金野 祥久 について

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半田 哲也

半田 哲也 について


出願人/特許権者：
株式会社ナック

株式会社ナック について


代理人 (4件)： 中島 淳 ,  加藤 和詳 ,  西元 勝一 ,  福田 浩志
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-159087
公開番号（公開出願番号）：特開2007-327849
出願日： 2006年06月07日
公開日（公表日）： 2007年12月20日
要約：
【課題】洩れ検査時の測定対象容器と基準容器との差圧の温度補正ができ、洩れ検査の精度を上げる洩れ検査装置及び洩れ検査方法。【解決手段】ワーク容器66とマスタ容器80の空気を平衡状態とした後に、これらの間を遮断し、マスタ容器80内部及びワーク容器66内部の空気温度T1、T2が測定される。その後、マスタ容器80内部及びワーク容器66内部の空気温度T3、T4が測定される。また、差圧測定部42で、ワーク容器66内部とマスタ容器80内部の空気圧力との測定差圧PAが測定される。判定ユニット78では、これらの測定データを用いて理論差圧が求められ、測定差圧との差によりワーク容器66の洩れの有無の判定を行う。【選択図】図2
請求項（抜粋）：
気体供給源から測定対象容器及び基準容器に気体を供給し、前記測定対象容器の内部の気体と前記基準容器の内部の気体とを所定の平衡圧力P0の平衡状態とするとともに、前記測定対象容器及び前記基準容器における気体の流入及び流出を遮断する気体供給手段と、 前記測定対象容器の内部の気体の圧力と前記基準容器の内部の気体の圧力との測定差圧PAを求める差圧測定手段と、 前記基準容器の内部の気体の温度を測定する第1温度測定手段と、 前記測定対象容器の内部の気体の温度を測定する第2温度測定手段と、 前記基準容器における前記平衡状態から所定時間t経過後の、気体の温度変化及び前記平衡圧力P0に基づいて定められる気体の圧力を理論圧力P1とし、 前記測定対象容器における前記平衡状態から所定時間t経過後の、気体の温度変化及び前記平衡圧力P0に基づいて定められる気体の圧力を理論圧力P2として、前記理論圧力P1と前記理論圧力P2との差である理論差圧PBと前記測定差圧PAとを比較して、前記測定対象容器の洩れの有無を判定する判定手段と、 を備えたことを特徴とする洩れ検査装置。
IPC (1件)：
G01M 3/26
FI (1件)：
G01M3/26 A
Fターム (6件)：
2G067AA44 ,  2G067BB28 ,  2G067BB30 ,  2G067CC04 ,  2G067DD03 ,  2G067EE10
引用特許：
出願人引用 (2件) 審査官引用 (8件)
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