特許
J-GLOBAL ID：200903084652170670
製造装置
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-078667
公開番号（公開出願番号）：特開2004-288463
出願日： 2003年03月20日
公開日（公表日）： 2004年10月14日
要約：
【課題】本発明は、EL材料の利用効率を高めることによって製造コストを削減し、且つ、EL層成膜の均一性やスループットの優れた製造装置を提供する。【解決手段】本発明は、基板を固定し、蒸着ホルダを移動させことによって成膜を行う。成膜室506R1、506G1、506B1、506R2、506G2、506B2、506R3、506G3、506B3、506R4、506G4、506B4、506Eにおいて、1つのチャンバーでEL層を単層ずつ蒸着し、基板を順次、成膜室に移動させて発光装置を作製する。また、本発明は、蒸着ホルダを各成膜室に連結された設置室526a〜526mに移動させた後、蒸着ホルダの部品(ルツボ等)を大気に触れることなく設置する。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
ロード室、該ロード室に連結された搬送室、該搬送室に連結された複数の成膜室、および該成膜室に連結された設置室とを有する成膜装置であって、
前記複数の成膜室は、前記成膜室内を真空にする真空排気処理室と連結され、基板を固定する手段と、マスクと基板の位置あわせを行うアライメント手段と、1つまたは2つの蒸着源と、該蒸着源を前記成膜室内および前記設置室内で移動させる手段と、基板を加熱する手段とを有していることを特徴とする製造装置。
IPC (3件)：
H05B33/10
, C23C14/24
, H05B33/14
H05B33/10
, C23C14/24 C
, H05B33/14 A
3K007AB18
, 3K007DB03
, 3K007FA01
, 4K029AA24
, 4K029BA62
, 4K029BD00
, 4K029CA01
, 4K029DA04
, 4K029DA09
, 4K029DA12
, 4K029DB06
, 4K029DB14
, 4K029DB18
, 4K029EA01
, 4K029FA01
