特許
J-GLOBAL ID：200903085258312199
マイクロ電気機械システムデバイス内の構造の電気機械的挙動の制御
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (8件)：
鈴江 武彦
, 河野 哲
, 中村 誠
, 蔵田 昌俊
, 峰 隆司
, 福原 淑弘
, 村松 貞男
, 橋本 良郎
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-538461
公開番号（公開出願番号）：特表2006-500231
出願日： 2003年09月18日
公開日（公表日）： 2006年01月05日
要約：
1つの実施形態において、本発明はマイクロ電気機械システムデバイスの製造方法を供する。この方法は特有の電気機械的応答、および特有の光学的応答を有し、前記特有の光学的応答は望ましいものであり、かつ前記特有の電気機械的応答は望ましくないものであるところの少なくとも1つのフィルム(14)を含む第1層(14)を形成することと、前記第1層(14)の前記特有の電気機械的応答を、前記マイクロ電気機械システムデバイスの作動中の電荷蓄積を制御することにより変更することとを含む。
請求項（抜粋）：
マイクロ電気機械システムデバイスを製造する方法であって、
特有の電気機械的応答、および特有の光学的応答を有し、前記特有の光学的応答は望ましいものであり、かつ前記特有の電気機械的応答は望ましくないものであるところの少なくとも1つのフィルムを含む第1層を形成することと、
前記第1層の前記特有の電気機械的応答を、前記マイクロ電気機械システムデバイスの作動中の電荷蓄積を制御することにより変更することと
を含む方法。
IPC (1件)：
FI (1件)：
引用特許：
出願人引用 (12件)
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審査官引用 (13件)
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