特許
J-GLOBAL ID：200903086227013211

膜厚差検出装置、膜厚差検出方法、カラーフィルタ検査装置、カラーフィルタ検査方法

発明者：
井殿 多聞

井殿 多聞 について

, 
伊藤 健二

伊藤 健二 について


出願人/特許権者：
シャープ株式会社

シャープ株式会社 について


代理人 (3件)： 原 謙三 ,  木島 隆一 ,  金子 一郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-377818
公開番号（公開出願番号）：特開2006-184125
出願日： 2004年12月27日
公開日（公表日）： 2006年07月13日
要約：
【課題】 検査装置を複雑化および大型化することなく短時間で、数十nm〜数百nm程度の分解能で膜厚差を検出するための検出方法および検出装置を提供する。【解決手段】 本発明の膜厚差検出装置である画像処理装置106は、カラーフィルタ表面を所定の傾斜角度で光照射した状態で撮像して得られた撮像画像情報を分析して、各領域におけるカラーフィルタの輝度差を算出する撮像画像情報分析部10と、上記撮像画像情報分析部10によって算出された輝度差と外部から得られる膜厚差参照情報とからカラーフィルタにおける膜厚差を推定する膜厚差推定部20とを備えているので、簡単な構成で、高分解能で膜厚差を検出することができる。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
規則正しく整列した微細な起伏を表面に有する膜の各起伏間の膜厚差を検出する膜厚差検出装置において、 上記膜表面に所定の傾斜角度で光を照射する光照射手段と、 上記光照射手段によって光が照射された膜表面を撮像する撮像手段と、 上記撮像手段によって撮像された撮像画像情報を分析して、各起伏間における輝度差を算出する撮像画像情報分析手段と、 上記撮像画像情報分析手段によって算出された輝度差から膜の各起伏間の膜厚差を推定する膜厚差推定手段とを有することを特徴とする膜厚差検出装置。
IPC (2件)：
G01B 11/06 ,  G02B 5/20
FI (2件)：
G01B11/06 H ,  G02B5/20 101
Fターム (30件)：
2F065AA30 ,  2F065BB01 ,  2F065BB17 ,  2F065CC21 ,  2F065CC31 ,  2F065DD02 ,  2F065DD06 ,  2F065FF01 ,  2F065FF42 ,  2F065FF67 ,  2F065HH12 ,  2F065HH18 ,  2F065JJ02 ,  2F065JJ08 ,  2F065JJ25 ,  2F065MM03 ,  2F065PP12 ,  2F065QQ05 ,  2F065QQ13 ,  2F065QQ21 ,  2F065QQ23 ,  2F065QQ25 ,  2F065RR05 ,  2F065RR09 ,  2H048BA02 ,  2H048BA11 ,  2H048BA55 ,  2H048BA64 ,  2H048BB02 ,  2H048BB42
引用特許：
出願人引用 (7件)
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審査官引用 (4件)
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