ウェハ保持部材及び耐プラズマ用部材

発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-014491
公開番号（公開出願番号）：特開平9-213773
出願日： 1996年01月30日
公開日（公表日）： 1997年08月15日
要約：

【要約】【課題】耐食性に優れるとともにウェハ30に悪影響を及ぼしにくいウェハ保持部材を得る。【解決手段】ウェハ30の載置面11aを単結晶サファイアで形成しするとともに、体積固有抵抗が10-2Ω・cm以下で厚みtが10μm以上のプラズマ発生用の電極12を備えてウェハ保持部材を構成する。

請求項（抜粋）：

ウェハを載置し加工、搬送等を行うためのウェハ保持部材であって、少なくともウェハ載置面を単結晶サファイアで形成するとともに、内部に体積固有抵抗が10-2Ω・cm以下で厚みが10μm以上のプラズマ発生用電極を備えてなるウェハ保持部材。

IPC (5件)：

H01L 21/68 , B23Q 3/15 , C23C 14/50 , H01L 21/205 , H01L 21/3065

FI (5件)：

H01L 21/68 N , B23Q 3/15 D , C23C 14/50 D , H01L 21/205 , H01L 21/302 B

引用特許：

審査官引用 (8件)

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