研磨布

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：五十嵐俊明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-149142
公開番号（公開出願番号）：特開2009-101504
出願日： 2008年06月06日
公開日（公表日）： 2009年05月14日
要約：

【課題】厚み斑を生じ難くすることができ寿命を向上させることができる研磨布を提供する。【解決手段】研磨パッド1はポリウレタンシート2を備えている。ポリウレタンシート2には、厚さ方向の半分程度の長さの発泡3と、厚さ方向の7割以上の長さの長発泡4とが形成されている。バフ処理により発泡3、長発泡4が開孔し、研磨面Pにはそれぞれ開孔5、開孔6が形成されている。開孔5、開孔6は、開孔径30〜50μmの開孔が開孔全体の50%以上を占めている。研磨面Pの1mm2あたりの開孔5、開孔6の開孔数は、合計50〜100個に設定されている。長発泡4の開孔6の開孔径D1は、研磨面Pから少なくとも200μmの深さ位置の開孔径D2に対する割合の平均値が0.65〜0.95に設定されている。開孔径の拡大が抑制され空隙の割合が変化しにくい。【選択図】図2

請求項（抜粋）：

湿式成膜法で連続形成された発泡体の開孔が表面層を除去することにより形成された軟質プラスチックシートを備えた研磨布において、前記開孔は、開孔径30μm〜50μmの開孔の割合が50%以上、前記開孔が形成された表面の1mm2あたりの開孔数が50個〜100個であり、前記発泡のうち一部の発泡は前記軟質プラスチックシートの厚さ方向の長さの7割以上の長さを有する長発泡であり、前記長発泡の開孔の孔径は前記開孔が形成された表面から少なくとも200μmの深さ位置の孔径に対する割合の平均値が0.65〜0.95であることを特徴とする研磨布。

IPC (1件)：

B24B 37/00

FI (1件)：

B24B37/00 T

Fターム (8件)：

3C058AA07 , 3C058AA09 , 3C058CA05 , 3C058CA06 , 3C058CB02 , 3C058CB04 , 3C058CB05 , 3C058CB10

引用特許：

出願人引用 (8件)

多孔性ポリウレタン研磨パッド
公報種別：公開公報出願番号：特願2004-222861 出願人：ロームアンドハースエレクトロニックマテリアルズシーエムピーホウルディングスインコーポレイテッド
研磨布およびその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2005-361608 出願人：ニッタ・ハース株式会社
ウレタン樹脂系多孔質複合体
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-004071 出願人：三菱化学株式会社

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審査官引用 (5件)

ウレタン樹脂系多孔質複合体
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-004071 出願人：三菱化学株式会社
研磨用パッド
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-285400 出願人：ロデール・ニッタ株式会社
研磨用クロス及びその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2003-098879 出願人：カネボウ株式会社

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