特許
J-GLOBAL ID：200903088104290515
プローブカード及びプローブカード形成方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
畑 泰之
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-295361
公開番号（公開出願番号）：特開平11-133062
出願日： 1997年10月28日
公開日（公表日）： 1999年05月21日
要約：
【要約】【課題】 ICなどの高集積化された電子部品の導通特性或いは電気特性を効率的に検査する事が出来る然も安価に製造しえるプローブカードを提供する。【解決手段】 基板120の一方の主面S1に、一部に突起状部分12を有する接触端子10が適宜の形状を有し、当該基板120と該プローブ21との間に設けられた保持部122を介してリード部11の端部13が取りつけられており、且つ当該リード部11は当該基板120の主面S1に沿って、当該主面S1から離反された状態で配置されているプローブカード20。
請求項（抜粋）：
基板の一方の主面に、一部に接触端子が設けられているリード部の端部が保持部を介して互いに接合せしめられており、且つ当該リード部は当該基板の主面に沿って、当該主面から離反した状態で配置されている事を特徴とするプローブカード。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01R 1/073 E
, H01L 21/66 B
