特許
J-GLOBAL ID：200903089804997764
計測方法、形状計測方法、計測装置及び形状計測装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
志賀 正武
, 高橋 詔男
, 西 和哉
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-239534
公開番号（公開出願番号）：特開2009-069063
出願日： 2007年09月14日
公開日（公表日）： 2009年04月02日
要約：
【課題】容易に計測を行うことができ、計測時間を短縮化できる計測方法、形状計測方法、計測装置及び形状計測装置を提供すること。【解決手段】第1光量で前記被検物に光を照射する工程と、前記被検物上で散乱された第1散乱光の第1画像を画像取得装置によって取得する工程と、前記第1画像に基づいて、前記被検物のうち他の領域に比べて前記第1散乱光の光量が小さい第1領域を検出する工程とを含み、前記第1光量は、前記被検物のうち前記他の領域において、前記第1散乱光の光量が前記画像取得装置の検出可能な光量よりも大きくなるような光量である。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
第1光量で被検物に光を照射する工程と、
前記被検物上で散乱された第1散乱光の第1画像を画像取得装置によって取得する工程と、
前記第1画像に基づいて、前記被検物のうち他の領域に比べて前記第1散乱光の光量が小さい第1領域を検出する工程と
を含み、
前記第1光量は、前記被検物のうち前記他の領域において、前記第1散乱光の光量が前記画像取得装置の検出可能な光量よりも大きくなるような光量である
ことを特徴とする計測方法。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (21件)：
2F065AA53
, 2F065BB05
, 2F065CC15
, 2F065FF02
, 2F065FF04
, 2F065FF09
, 2F065FF10
, 2F065FF41
, 2F065GG04
, 2F065GG13
, 2F065HH05
, 2F065HH06
, 2F065HH14
, 2F065JJ03
, 2F065JJ26
, 2F065LL08
, 2F065LL30
, 2F065MM03
, 2F065NN02
, 2F065PP12
, 2F065QQ04
出願人引用 (1件)
審査官引用 (8件)
全件表示
前のページに戻る
