特許
J-GLOBAL ID：200903089841278263
半導体レーザ素子
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (5件)：
鈴江 武彦
, 河野 哲
, 中村 誠
, 村松 貞男
, 橋本 良郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-139806
公開番号（公開出願番号）：特開2005-354049
出願日： 2005年05月12日
公開日（公表日）： 2005年12月22日
要約：
【課題】窒化物半導体レーザ素子における絶縁膜と電極の異材質界面の密着性を向上させ、電極の剥がれの発生を防止する。また、窒化物半導体レーザ素子の電圧特性、電流特性、光の閉じ込め効果を向上させる。【解決手段】窒化物半導体レーザ素子において、半導体層上に設けられたリッジ部の側面と半導体層の表面を覆う埋め込み絶縁膜220と、リッジ部表面にコンタクトし、埋め込み絶縁膜上の一部でリッジ部に隣接する領域上を覆うp電極230と、p電極の端部上および/または埋め込み絶縁膜上の一部を覆う絶縁性保護膜240と、p電極上から絶縁性保護膜上の一部に跨がる領域に形成されたパッド電極250と、半導体層の下層部に連なるn電極210とを具備し、埋め込み絶縁膜とp電極との界面にITO膜260が介在し、絶縁性保護膜とパッド電極の界面にITO膜251が介在し、電極とパッド電極との界面にはITO膜233、251が介在している。【選択図】図3
請求項（抜粋）：
半導体層に接触する第1の電極と、前記半導体層の表面を覆う単層もしくは多層の絶縁膜と、前記電極上および絶縁膜上に形成されたパッド電極とを具備する半導体レーザ素子において、前記絶縁膜と前記パッド電極との界面、および/または、前記電極と前記パッド電極との界面に透明導電膜が存在することを特徴とする半導体レーザ素子。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (14件)：
5F173AA08
, 5F173AH22
, 5F173AH44
, 5F173AK02
, 5F173AK08
, 5F173AK13
, 5F173AK15
, 5F173AL02
, 5F173AP33
, 5F173AP82
, 5F173AP92
, 5F173AR14
, 5F173AR15
, 5F173AR63
出願人引用 (9件)
全件表示
審査官引用 (7件)
全件表示
前のページに戻る
