特許
J-GLOBAL ID：200903089864646316

フィルム欠陥検査方法及び装置

発明者：
高橋 英一

高橋 英一 について

, 
樋口 学

樋口 学 について

, 
中島 健

中島 健 について

, 
亀井 浩之

亀井 浩之 について


出願人/特許権者：
富士フイルム株式会社

富士フイルム株式会社 について


代理人 (1件)： 松浦 憲三
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-089552
公開番号（公開出願番号）：特開2009-244024
出願日： 2008年03月31日
公開日（公表日）： 2009年10月22日
要約：
【課題】フィルム表面に発生した微細欠陥までも高感度に検出することができる。【解決手段】投光機22から透明フィルム12面に照射された検査光20がフィルム表面で反射する反射散乱光を受光機24で検出し、検出結果に基づいてフィルム表面の微細傷14を検査するフィルム欠陥検査方法において、透明フィルム12を、その長さ方向及び幅方向に引っ張ってフィルムの平面性を保持しながら、投光機22を微細傷14の発生方向と略平行に配置した状態で検査光20をフィルム表面に照射すると共に、受光機24を微細傷14の発生方向と略平行に配置した状態で反射散乱光を受光する。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
投光機からフィルム表面に照射された検査光がフィルム表面で反射する反射散乱光を受光機で検出し、検出結果に基づいて前記フィルム表面の微細欠陥を検査するフィルム欠陥検査方法において、 前記フィルムを、その長さ方向及び幅方向に引っ張ってフィルムの平面性を保持しながら、前記投光機を前記微細欠陥の発生方向と略平行に配置した状態で前記検査光を前記フィルム表面に照射すると共に、前記受光機を前記微細欠陥の発生方向と略平行に配置した状態で前記反射散乱光を受光することを特徴とするフィルム欠陥検査方法。
IPC (1件)：
G01N 21/892
FI (1件)：
G01N21/892 A
Fターム (8件)：
2G051AA41 ,  2G051AB02 ,  2G051AC12 ,  2G051BA01 ,  2G051BB01 ,  2G051CA04 ,  2G051CA07 ,  2G051CB05
引用特許：
出願人引用 (14件)
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審査官引用 (14件)
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