特許
J-GLOBAL ID：200903090152341223

基板の位置ずれ検査機構,処理システム及び基板の位置ずれ検査方法

発明者：
小林 裕明

小林 裕明 について


出願人/特許権者：
東京エレクトロン株式会社

東京エレクトロン株式会社 について


代理人 (3件)： 萩原 康司 ,  金本 哲男 ,  亀谷 美明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-048775
公開番号（公開出願番号）：特開2007-227781
出願日： 2006年02月24日
公開日（公表日）： 2007年09月06日
要約：
【課題】搬送アームに保持された基板の位置ずれを確実に検知する。【解決手段】基板Gの存在を検出する複数の基板検出センサ62A,62Bを備えた。搬送アーム52は,基板Gを正常に保持している場合に該基板Gを第一の被検査位置Pg3に保持する第一の保持位置Pa3と,基板Gを正常に保持している場合に該基板Gを第二の被検査位置Pg4に保持する第二の保持位置Pa4と,に移動可能にした。前記複数の基板検出センサ62A,62Bは,第一の被検査位置Pg3に配置された基板Gの縁部における互いに異なる部分をそれぞれ検出し,かつ,第二の被検査位置Pg4に配置された基板Gを検出しないように配置した。【選択図】図5
請求項（抜粋）：
搬送アームによって保持された基板の搬送アームに対する位置ずれを検査する機構であって, 基板の存在を検出する複数の基板検出センサを備え, 前記搬送アームは,基板を正常に保持している場合に該基板を第一の被検査位置に保持する第一の保持位置と,基板を正常に保持している場合に該基板を第二の被検査位置に保持する第二の保持位置と,に移動可能であり, 前記複数の基板検出センサは,前記第一の被検査位置に配置された基板の縁部における互いに異なる部分をそれぞれ検出し,かつ,前記第二の被検査位置に配置された基板を検出しないことを特徴とする,基板の位置ずれ検査機構。
IPC (2件)：
H01L 21/68 ,  H01L 21/67
FI (2件)：
H01L21/68 F ,  H01L21/68 L
Fターム (18件)：
5F031CA02 ,  5F031CA05 ,  5F031FA01 ,  5F031FA02 ,  5F031FA11 ,  5F031FA12 ,  5F031FA15 ,  5F031GA03 ,  5F031GA36 ,  5F031GA43 ,  5F031JA05 ,  5F031JA14 ,  5F031JA17 ,  5F031JA22 ,  5F031MA04 ,  5F031NA05 ,  5F031NA09 ,  5F031PA30
引用特許：
出願人引用 (2件) 審査官引用 (5件)
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