特許
J-GLOBAL ID：200903090287534285
圧電素子及びその製造方法、並びにその圧電素子を備えたインクジェットヘッド、インクジェット式記録装置及び角速度センサ
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (10件)：
前田 弘
, 小山 廣毅
, 竹内 宏
, 嶋田 高久
, 竹内 祐二
, 今江 克実
, 藤田 篤史
, 二宮 克也
, 原田 智雄
, 井関 勝守
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-127087
公開番号（公開出願番号）：特開2005-203725
出願日： 2004年04月22日
公開日（公表日）： 2005年07月28日
要約：
【課題】高い圧電特性を有し且つ大きな変位で駆動させても膜はがれを原因とした故障が発生しない圧電素子を提供する。【解決手段】圧電素子20は、第1電極膜2と、第1電極膜2上に形成された第1圧電体膜3と該第1圧電体膜3上に形成され且つ第1圧電体膜3により結晶配向性を制御される第2圧電体膜4とからなる圧電体積層膜10と、第2圧電体膜4上に形成された第2電極膜5とを備えている。第1及び第2圧電体膜3,4は、結晶成長方向が圧電体積層膜10の厚み方向一方側から他方側に向いている柱状粒子の集合体である。第2圧電体膜4の柱状粒子の断面径は第1圧電体膜3の柱状粒子の断面径よりも大きい。第2圧電体膜4の断面径dに対する圧電体積層膜10の厚みlの比l/dは20以上60以下である。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
第1電極膜と、該第1電極膜上に形成された第1圧電体膜と該第1圧電体膜上に形成され且つ上記第1圧電体膜により結晶配向性を制御される第2圧電体膜とからなる圧電体積層膜と、該第2圧電体膜上に形成された第2電極膜とを備えた圧電素子であって、
上記第1及び第2圧電体膜は、結晶成長方向が上記圧電体積層膜の厚み方向一方側から他方側に向いている柱状粒子の集合体であり、
上記第2圧電体膜の柱状粒子の断面径が上記第1圧電体膜の柱状粒子の断面径よりも大きく、
上記第2圧電体膜の柱状粒子の断面径dに対する上記圧電体積層膜の厚みlの比l/dが20以上60以下であることを特徴とする圧電素子。
IPC (11件)：
H01L41/09
, B41J2/045
, B41J2/055
, B41J2/16
, G01C19/56
, G01P9/04
, H01L41/08
, H01L41/18
, H01L41/22
, H01L41/24
, H02N2/00
H01L41/08 C
, G01C19/56
, G01P9/04
, H02N2/00 B
, B41J3/04 103A
, B41J3/04 103H
, H01L41/18 101Z
, H01L41/08 D
, H01L41/08 Z
, H01L41/22 Z
, H01L41/22 A
, H01L41/08 L
, H01L41/08 J
, H01L41/08 M
2C057AF65
, 2C057AF93
, 2C057AG44
, 2C057AG48
, 2C057AG55
, 2C057AP02
, 2C057AP16
, 2C057AP52
, 2C057AQ01
, 2C057AQ02
, 2C057BA03
, 2C057BA14
, 2F105AA02
, 2F105BB02
, 2F105BB04
, 2F105BB13
, 2F105BB14
, 2F105CC01
, 2F105CD02
, 2F105CD06
出願人引用 (9件)
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審査官引用 (8件)
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