特許
J-GLOBAL ID：200903090578336782

光学顕微鏡測定装置

発明者：
保母 敏行

保母 敏行 について

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内山 一美

内山 一美 について

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下坂 琢哉

下坂 琢哉 について

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中西 博昭

中西 博昭 について


出願人/特許権者：
株式会社島津製作所

株式会社島津製作所 について


代理人 (1件)： 鹿島 義雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-388725
公開番号（公開出願番号）：特開2005-147968
出願日： 2003年11月19日
公開日（公表日）： 2005年06月09日
要約：
【課題】 励起光を干渉させて回折格子を形成し、プローブ光を回折させて物性を測定する測定装置において、調整作業が容易な測定装置を提供する。【解決手段】 光学顕微鏡本体21と、2本の励起光E1、E2がそれぞれの励起光E1、E2が対物レンズ32の異なる周縁部分を通過するようにして対物レンズ通過後に屈折するようにし、さらに屈折した2本の励起光E1、E2が測定点で交差するようにして干渉縞を生じさせることにより回折格子を誘起するようにした励起光入射光学系と、プローブ光Pが対物レンズ32の中央部分を通過するようにし、さらに対物レンズ通過後にプローブ光Pが測定点を通過するようにしたプローブ光入射光学系と、測定点を通過するプローブ光Pが回折格子によって回折されることにより得られる回折光を検出する検出器とを備え、回折光により試料の物性測定を行うことができるようにする。【選択図】図2
請求項（抜粋）：
対物レンズを用いて測定点近傍を光学的に観察する光学顕微鏡本体と、 2本の励起光が対物レンズの光軸に平行に入射するとともにそれぞれの励起光が対物レンズの異なる周縁部分を通過するようにして対物レンズ通過後に屈折するようにし、さらに屈折した2本の励起光が測定点で交差するようにして測定点近傍に干渉縞を生じさせることにより回折格子を誘起するようにした励起光入射光学系と、 プローブ光が対物レンズの光軸に平行に入射するとともに対物レンズの中央部分を通過するようにし、さらに対物レンズ通過後にプローブ光が測定点を通過するようにしたプローブ光入射光学系と、 測定点を通過するプローブ光が回折格子によって回折されることにより得られる回折光を検出する検出器とを備えたことを特徴とする光学顕微鏡測定装置。
IPC (2件)：
G01N21/47 ,  G02B21/06
FI (2件)：
G01N21/47 A ,  G02B21/06
Fターム (25件)：
2G059AA02 ,  2G059AA03 ,  2G059BB14 ,  2G059DD12 ,  2G059DD13 ,  2G059EE02 ,  2G059FF03 ,  2G059GG01 ,  2G059GG08 ,  2G059JJ02 ,  2G059JJ11 ,  2G059JJ13 ,  2G059JJ20 ,  2G059JJ22 ,  2G059KK04 ,  2H052AA09 ,  2H052AB03 ,  2H052AC07 ,  2H052AC30 ,  2H052AC34 ,  2H052AD06 ,  2H052AD16 ,  2H052AD20 ,  2H052AF02 ,  2H052AF06
引用特許：
審査官引用 (11件)
  • 構造物の性質を測定する装置及び方法
    公報種別：公表公報   出願番号：特願2000-551218   出願人：コーニンクレッカフィリップスエレクトロニクスエヌヴィ
  • 顕微鏡の全反射照明装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-341007   出願人：オリンパス光学工業株式会社
  • 回転式輪帯全反射照明機構
    公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-325773   出願人：科学技術振興事業団
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引用文献：
審査官引用 (2件)

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