特許
J-GLOBAL ID：200903090924364143

X線検査装置

発明者：
櫛引 敬嗣

櫛引 敬嗣 について


出願人/特許権者：
株式会社島津製作所

株式会社島津製作所 について


代理人 (2件)： 鹿島 義雄 ,  甲斐 寛人
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-268205
公開番号（公開出願番号）：特開2007-078557
出願日： 2005年09月15日
公開日（公表日）： 2007年03月29日
要約：
【課題】 ステージ移動の際の被測定物とX線測定光学系との衝突危険性を判断し、衝突防止を図る。【解決手段】 X線源11とX線検出器12との間に被測定物が位置するように被測定物を載置するためのステージ14と、ステージを並進および回転するステージ駆動機構15と、ステージ上に載置された被測定物を撮影する光学カメラ16と、ステージを回転しつつ被測定物を光学カメラで撮影したときの画像データに含まれる被測定物の軌跡データに基づいて被測定物とX線測定光学系との衝突危険領域を設定する衝突危険領域設定部32と、設定した衝突危険領域に基づいてステージを移動する際の衝突危険性を判定する衝突判定部33とを備える。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
透視用X線を照射するX線源と被測定物の透視X線像を撮影するX線検出器とからなるX線測定光学系と、X線源とX線検出器との間に被測定物が位置するように被測定物を載置するためのステージと、ステージを並進および回転するステージ駆動機構とを備え、ステージ上に載置された被測定物の位置を調整してX線検査を行うX線検査装置において、 ステージ上に載置された被測定物を撮影する光学カメラと、 ステージを回転しつつ被測定物を光学カメラで撮影したときの画像データに含まれる被測定物の軌跡データに基づいて被測定物とX線測定光学系との衝突危険領域を設定する衝突危険領域設定部と、 設定した衝突危険領域に基づいてステージを移動する際の衝突危険性を判定する衝突判定部とを備えたことを特徴とするX線検査装置。
IPC (1件)：
G01N 23/04
FI (1件)：
G01N23/04
Fターム (24件)：
2G001AA01 ,  2G001BA11 ,  2G001BA14 ,  2G001CA01 ,  2G001CA07 ,  2G001DA01 ,  2G001DA02 ,  2G001DA06 ,  2G001DA09 ,  2G001FA01 ,  2G001FA06 ,  2G001GA05 ,  2G001GA08 ,  2G001HA06 ,  2G001HA07 ,  2G001HA13 ,  2G001JA07 ,  2G001JA08 ,  2G001JA13 ,  2G001JA16 ,  2G001MA10 ,  2G001PA12 ,  2G001PA13 ,  2G001QA01
引用特許：
出願人引用 (16件)
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審査官引用 (12件)
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