特許
J-GLOBAL ID：200903091763469485

重合体、その製造方法、レジスト組成物及びその応用

発明者：
百瀬 陽

百瀬 陽 について


出願人/特許権者：
三菱レイヨン株式会社

三菱レイヨン株式会社 について


公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-236356
公開番号（公開出願番号）：特開2008-095087
出願日： 2007年09月12日
公開日（公表日）： 2008年04月24日
要約：
【課題】金属含有量が少なく、レジスト組成物が高感度、高解像度で、ディフェクトが少なく、レジストのラインエッジラフネスの小さい重合体、カラーフィルター等の用途で感度、顔料分散性及び現像性のバランスに優れた重合体、そのレジスト組成物及びレジスト組成物を用いたパターンが形成された基板又はカラーフィルターの製造方法を提供する。【解決手段】グリシジル残基を有する構成単位を含有する重合体(PG)単位及びカルボキシル残基及び酸無水物残基から選ばれる少なくとも1種を有する構成単位を含有する重合体(PA)単位を有する重合体を代表とするレジスト用の重合体、その製造方法、レジスト組成物、基板の製造方法及びカラーフィルターの製造方法。【選択図】なし
請求項（抜粋）：
式(2)で表される構成単位を含有するレジスト用の重合体。
IPC (6件)：
C08F 291/06 ,  G03F 7/039 ,  G03F 7/033 ,  G03F 7/032 ,  H01L 21/027 ,  C08G 81/00
FI (6件)：
C08F291/06 ,  G03F7/039 601 ,  G03F7/033 ,  G03F7/032 501 ,  H01L21/30 502R ,  C08G81/00
Fターム (47件)：
2H025AA01 ,  2H025AA02 ,  2H025AB13 ,  2H025AB16 ,  2H025AC04 ,  2H025AC05 ,  2H025AC08 ,  2H025AD01 ,  2H025AD03 ,  2H025BC32 ,  2H025BC42 ,  2H025CA01 ,  2H025CA27 ,  2H025CB13 ,  2H025CB14 ,  2H025CB41 ,  2H025CB43 ,  2H025CC12 ,  2H025FA12 ,  2H025FA17 ,  4J026AA17 ,  4J026AA31 ,  4J026AA37 ,  4J026AA43 ,  4J026AA48 ,  4J026AA59 ,  4J026BA05 ,  4J026BA06 ,  4J026BA15 ,  4J026BA25 ,  4J026BA27 ,  4J026BA30 ,  4J026BA39 ,  4J026DA02 ,  4J026DA15 ,  4J026DB02 ,  4J026DB15 ,  4J026GA01 ,  4J026GA02 ,  4J031AA19 ,  4J031AA20 ,  4J031AB02 ,  4J031AC03 ,  4J031AD01 ,  4J031AE02 ,  4J031AE13 ,  4J031AF22
引用特許：
出願人引用 (5件)
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審査官引用 (12件)
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