特許
J-GLOBAL ID：200903092308067014

多重膜よりなるスぺーサを有する半導体素子及びその製造方法

発明者：
李 宰求

李 宰求 について


出願人/特許権者：
三星電子株式会社

三星電子株式会社 について


代理人 (1件)： 志賀 正武 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-398556
公開番号（公開出願番号）：特開2002-252232
出願日： 2001年12月27日
公開日（公表日）： 2002年09月06日
要約：
【要約】【課題】 多重膜よりなるスペーサを有する半導体素子及びその製造方法を提供する。【解決手段】 半導体基板上に形成されたゲート酸化膜、ゲート導電膜及びキャッピング絶縁膜を含むゲート電極108と、ゲート導電膜及びゲート酸化膜の両側壁に形成されており、半導体基板の所定部分と接するゲートポリ酸化膜109aと、キャッピング絶縁膜の両側壁及びゲートポリ酸化膜と接するシリコン窒化膜110bと、シリコン窒化膜と接する酸化膜及び酸化膜と接する最外郭スペーサ114aとを含む多重膜よりなるスペーサを有する半導体素子及びその製造方法。
請求項（抜粋）：
半導体基板上に形成されたゲート酸化膜、ゲート導電膜及びキャッピング絶縁膜を含むゲート電極と、前記ゲート導電膜及び前記ゲート酸化膜の側壁に形成されており、前記半導体基板の所定部分と接するゲートポリ酸化膜と、前記キャッピング絶縁膜の両側壁及び前記ゲートポリ酸化膜と接するシリコン窒化膜と、前記シリコン窒化膜と接する酸化膜と、前記酸化膜と接する最外郭スペーサとを含むことを特徴とする多重膜よりなるスペーサを有する半導体素子。
IPC (7件)：
H01L 21/336 ,  H01L 21/28 ,  H01L 21/768 ,  H01L 21/8242 ,  H01L 27/108 ,  H01L 29/417 ,  H01L 29/78
FI (5件)：
H01L 21/28 L ,  H01L 29/78 301 Y ,  H01L 29/50 U ,  H01L 21/90 C ,  H01L 27/10 671 Z
Fターム (97件)：
4M104BB01 ,  4M104DD02 ,  4M104DD04 ,  4M104DD07 ,  4M104DD19 ,  4M104DD75 ,  4M104EE05 ,  4M104EE09 ,  4M104EE17 ,  4M104FF14 ,  4M104GG10 ,  4M104GG14 ,  4M104GG16 ,  5F033HH04 ,  5F033HH25 ,  5F033JJ04 ,  5F033KK01 ,  5F033NN40 ,  5F033QQ09 ,  5F033QQ16 ,  5F033QQ25 ,  5F033QQ37 ,  5F033QQ48 ,  5F033QQ58 ,  5F033QQ59 ,  5F033QQ63 ,  5F033QQ76 ,  5F033RR04 ,  5F033RR06 ,  5F033RR09 ,  5F033RR15 ,  5F033SS01 ,  5F033SS02 ,  5F033SS04 ,  5F033SS15 ,  5F033SS25 ,  5F033TT08 ,  5F033VV16 ,  5F033WW02 ,  5F033WW04 ,  5F033WW09 ,  5F033XX24 ,  5F083AD01 ,  5F083JA35 ,  5F083JA53 ,  5F083MA03 ,  5F083MA06 ,  5F083MA17 ,  5F083MA20 ,  5F083PR03 ,  5F083PR06 ,  5F083PR12 ,  5F083PR40 ,  5F140AA06 ,  5F140AA11 ,  5F140AA21 ,  5F140AA26 ,  5F140AB03 ,  5F140AC32 ,  5F140BD05 ,  5F140BF04 ,  5F140BF11 ,  5F140BF18 ,  5F140BG10 ,  5F140BG11 ,  5F140BG12 ,  5F140BG14 ,  5F140BG22 ,  5F140BG27 ,  5F140BG37 ,  5F140BG41 ,  5F140BG50 ,  5F140BG52 ,  5F140BG53 ,  5F140BG58 ,  5F140BH15 ,  5F140BJ01 ,  5F140BJ04 ,  5F140BJ27 ,  5F140BK02 ,  5F140BK10 ,  5F140BK13 ,  5F140BK27 ,  5F140BK29 ,  5F140BK39 ,  5F140CA10 ,  5F140CB01 ,  5F140CB04 ,  5F140CC02 ,  5F140CC03 ,  5F140CC07 ,  5F140CC10 ,  5F140CC13 ,  5F140CC15 ,  5F140CC16 ,  5F140CE07 ,  5F140CE08
引用特許：
審査官引用 (8件)
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