特許
J-GLOBAL ID：200903092610326789
パターン検査方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (5件)：
吉武 賢次
, 橘谷 英俊
, 佐藤 泰和
, 吉元 弘
, 川崎 康
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-208314
公開番号（公開出願番号）：特開2006-030518
出願日： 2004年07月15日
公開日（公表日）： 2006年02月02日
要約：
【課題】 画像の画素位置ズレや伸縮ノイズ、センシングノイズに埋もれるほどの欠陥を可及的に検出することを可能にする。【解決手段】 検査基準パターン画像と被検査パターン画像との関係を検査中にオンラインで同定して、画像の画素ズレや伸縮ノイズ、センシングノイズを吸収(フィッティング)した数式モデルを構築し、そのモデルのシミュレーションによって得られる新たな検査基準パターン画像(モデル画像)と被検査パターン画像とを比較することによって欠陥を検出する。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
パターンを有する被検査試料に光を照射し、前記被検査試料からの反射光または透過光を検出することにより被検査パターン画像を取得し、この取得した被検査パターン画像に基づいて前記被検査試料のパターンの欠陥の有無を検査するパターン検査方法であって、
前記被検査試料から取得された被検査パターン画像を分割した部分検査パターン画像と、前記被検査試料の検査基準パターン画像を分割した、前記部分被検査パターン画像に対応する部分検査基準パターン画像とを重ね合わせて両部分パターン画像のレベル差の2乗和が最小となる条件の下で前記部分検査基準パターン画像と前記部分被検査パターン画像との画素位置ズレを補正し、この画素位置ズレ補正処理を分割された部分被検査パターン画像すべてに対して行う画素位置ズレ補正演算ステップと、
画素位置ズレ補正された前記部分検査基準パターン画像を2次元入力データとし、画素位置ズレ補正された前記部分被検査パターン画像を2次元出力データと見なして、パラメータを有する2次元入出力線形予測モデルを設定するために、前記検査基準パターン画像および前記被検査パターン画像を走査して画素位置ズレ補正されたパターン画像データを収集するステップと、
前記収集されたパターン画像データに基づいて最小2乗法を用いて前記2次元入出力線形予測モデルのパラメータを同定する同定演算ステップと、
前記同定された2次元入出力線形予測モデルのパラメータを用いてシミュレーション演算によって前記部分検査基準パターン画像に対応するモデル画像を得るモデル画像演算ステップと、
前記モデル画像と前記部分被検査パターン画像との比較から得られた2乗誤差パターン画像をノイズ除去した後、閾値演算処理して前記部分被検査パターン画像中の欠陥画素の座標を特定する比較演算ステップと、
を備えたことを特徴とするパターン検査方法。
IPC (5件)：
G03F 1/08
, G01N 21/956
, G06T 1/00
, G06T 5/20
, H04N 1/409
G03F1/08 S
, G01N21/956 A
, G06T1/00 305A
, G06T5/20 B
, H04N1/40 101D
2G051AA56
, 2G051AB02
, 2G051AC21
, 2G051CA03
, 2G051CB01
, 2G051CB02
, 2G051CD03
, 2G051EA08
, 2G051EA16
, 2G051EB01
, 2G051EC05
, 2G051ED01
, 2G051ED03
, 2G051ED08
, 2G051ED11
, 2G051ED14
, 2H095BD04
, 2H095BD25
, 2H095BD27
, 2H095BD28
, 5B057AA03
, 5B057CA08
, 5B057CA12
, 5B057CB08
, 5B057CB12
, 5B057CB16
, 5B057CC03
, 5B057CE02
, 5B057CE03
, 5B057CE06
, 5B057DA03
, 5B057DB02
, 5B057DB09
, 5B057DC09
, 5B057DC33
, 5B057DC39
, 5C077LL20
, 5C077NP01
, 5C077PP03
出願人引用 (1件)
審査官引用 (7件)
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