特許
J-GLOBAL ID：200903093001474166

光プローブ顕微鏡

発明者：
村松 宏

村松 宏 について


出願人/特許権者：
セイコーインスツルメンツ株式会社

セイコーインスツルメンツ株式会社 について


代理人 (1件)： 坂上 正明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-189784
公開番号（公開出願番号）：特開2002-277375
出願日： 2001年06月22日
公開日（公表日）： 2002年09月25日
要約：
【要約】【課題】 光プローブ顕微鏡の光検出において、輝点の大きさに対して受光面の大きな検出器を用いた場合に余分な迷光を検出してしまう問題や、輝点程度の小さな受光面を持つ検出器を用いた場合の光軸あわせが必要であるという問題があった。また、複数の光情報を得るためには、複数の光検出器が必要であった。【解決手段】 2次元イメージセンサを用いて、2次元イメージをリアルタイムで取得し、画像信号処理手段により2次元イメージの中の任意の検出領域の信号強度を取得するようにした。複数の情報を2次元イメージセンサ上に結像させ、検出領域を複数指定できるようにした。
請求項（抜粋）：
先端部分に局在した光の場を発生可能なプローブと、前記プローブの先端と試料の間を近接した距離に制御するためのプローブ位置検出手段と、微動手段および制御手段と、前記プローブが試料表面上を2次元的に走査するための走査手段と、前記局在した光の場を発生するための光源と、プローブ先端に近接した試料表面からから放射される光を集光するための集光光学系と、データ収集手段とを有する光プローブ顕微鏡において、2次元イメージセンサによって前記試料表面の2次元イメージをリアルタイムで取得し、画像信号処理手段により前記2次元イメージの中の任意の検出領域の信号強度を取得することにより、前記データ収集手段で形状像と同時に2次元光像を得ることを特徴とする光プローブ顕微鏡。
IPC (3件)：
G01N 13/14 ,  G01B 11/24 ,  G01B 11/30
FI (3件)：
G01N 13/14 A ,  G01B 11/30 Z ,  G01B 11/24 K
Fターム (26件)：
2F065AA07 ,  2F065AA11 ,  2F065AA49 ,  2F065AA54 ,  2F065DD00 ,  2F065DD04 ,  2F065FF00 ,  2F065FF01 ,  2F065FF04 ,  2F065HH04 ,  2F065HH13 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ09 ,  2F065JJ26 ,  2F065LL00 ,  2F065LL02 ,  2F065LL12 ,  2F065LL20 ,  2F065LL34 ,  2F065LL37 ,  2F065LL67 ,  2F065MM13 ,  2F065NN06 ,  2F065PP24 ,  2F065TT02 ,  2F065UU07
引用特許：
出願人引用 (8件)
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審査官引用 (8件)
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