特許
J-GLOBAL ID：200903093742513428
レジスト用樹脂含有溶液の製造方法及びレジスト用樹脂含有溶液
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
小島 清路
, 萩野 義昇
, 谷口 直也
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-131296
公開番号（公開出願番号）：特開2009-282080
出願日： 2008年05月19日
公開日（公表日）： 2009年12月03日
要約：
【課題】微粒子等の異物を効率的に捕集することができ、且つレジスト用樹脂含有溶液の生産性に優れるレジスト用樹脂含有溶液の製造方法、及び異物量が低減されたレジスト用樹脂含有溶液を提供する。【解決手段】本レジスト用樹脂含有溶液の製造方法は、レジスト用樹脂含有溶液を、フィルタに通過させて濾過する濾過工程を備えており、該濾過工程は、第1濾過工程と、該第1濾過工程よりも線速度が低い第2濾過工程と、を備える。【選択図】なし
請求項（抜粋）：
レジスト用樹脂含有溶液を、フィルタに通過させて濾過する濾過工程を備えており、該濾過工程は、第1濾過工程と、該第1濾過工程よりも線速度が低い第2濾過工程と、を備えていることを特徴とするレジスト用樹脂含有溶液の製造方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G03F7/26
, H01L21/30 502R
出願人引用 (3件)
審査官引用 (6件)
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