特許
J-GLOBAL ID：200903094035191046
研磨用具並びに研磨装置及び方法
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (2件)：
竹内 澄夫
, 堀 明▲ひこ▼
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-160526
公開番号（公開出願番号）：特開2004-358616
出願日： 2003年06月05日
公開日（公表日）： 2004年12月24日
要約：
【課題】ワークを均一にパッドレス研磨でき、安価で装置の大型化の容易な片面及び両面研磨用の研磨用具並びに研磨装置及び方法を提供することである【解決手段】複数の弾性粒子12、及びこれら弾性粒子12を保持する粗面を有するD硬度60以上の粒子保持板11から構成される研磨用具10。弾性粒子12として、高分子粒子、又は高分子粒子の表面に砥粒を固定した複合粒子が使用される。ワークWの研磨は、表面に粒子保持板11を固定した定盤21を回転させ、弾性粒子12を含む研磨スラリーを粒子保持板11の表面に供給して、粒子保持板11の粗面に弾性粒子12を保持させ、この上にワークWの表面を押し付けることによって行われる。粒子保持板11は、研磨スラリーの流路として機能する表面溝15を有する。粒子保持板11は、複数枚の板片17に分割され、一枚づつ定盤21の表面に固定できる。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
複数の弾性粒子、及び前記弾性粒子を保持する粗面を有するD硬度60以上の粒子保持板、から成る研磨用具。
IPC (3件)：
B24B37/00
, B24B37/04
, H01L21/304
B24B37/00 H
, B24B37/04 A
, H01L21/304 622B
, H01L21/304 622F
3C058AA07
, 3C058AA09
, 3C058AA14
, 3C058CA06
, 3C058CB01
, 3C058CB04
, 3C058CB07
, 3C058DA02
, 3C058DA13
, 3C058DA17
