特許
J-GLOBAL ID:200903094059469088
X線検出器
発明者:
,
出願人/特許権者:
,
代理人 (2件):
樺澤 襄
, 樺澤 聡
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2004-100898
公開番号(公開出願番号):特開2005-283483
出願日: 2004年03月30日
公開日(公表日): 2005年10月13日
要約:
【課題】解像度特性を向上したX線検出器を提供する。 【解決手段】柱状構造を有し、入射するX線を蛍光に変換するシンチレータ層17の表面上に設けた保護膜18内に、シンチレータ層17により変換した蛍光を反射させる無機物45を分散させることで、保護膜18による解像度特性の劣化を防止し、解像度特性を向上できる。 【選択図】図1
請求項(抜粋):
入射するX線を可視光に変換するX線変換部と、このX線変換部にて変換された可視光を電気信号に変換する光電変換素子とを具備したX線検出器において、
前記X線変換部は、
前記光電変換素子に設けられ、柱状構造を有し、入射するX線を可視光に変換するシンチレータ層と、
このシンチレータ層の表面上に設けられた保護膜とを備え、
この保護膜内には、前記シンチレータ層により変換された可視光を反射させる光反射材粒子が分散して含有されている
ことを特徴としたX線検出器。
IPC (5件):
G01T1/20
, C09K11/00
, H01L27/14
, H01L31/09
, H04N5/32
FI (8件):
G01T1/20 D
, G01T1/20 B
, G01T1/20 G
, C09K11/00 E
, H04N5/32
, H01L31/00 A
, H01L27/14 K
, H01L27/14 D
Fターム (48件):
2G088EE01
, 2G088FF02
, 2G088GG16
, 2G088GG19
, 2G088GG20
, 2G088JJ05
, 2G088JJ10
, 2G088LL09
, 2G088LL12
, 2G088LL13
, 4H001CA02
, 4H001CA08
, 4H001XA08
, 4H001XA11
, 4H001XA16
, 4H001XA53
, 4H001XA55
, 4H001XA64
, 4H001YA81
, 4M118AA10
, 4M118AB01
, 4M118BA05
, 4M118CA02
, 4M118CA11
, 4M118CA20
, 4M118CB06
, 4M118CB07
, 4M118CB11
, 4M118FB13
, 4M118FB16
, 4M118GA08
, 4M118GA09
, 4M118GA10
, 4M118HA26
, 5C024AX12
, 5C024CX37
, 5C024GX03
, 5C024GX09
, 5C024GY01
, 5F088AA11
, 5F088AB05
, 5F088BB03
, 5F088BB07
, 5F088EA04
, 5F088EA08
, 5F088GA02
, 5F088HA09
, 5F088HA15
引用特許:
出願人引用 (2件)
審査官引用 (14件)
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