特許
J-GLOBAL ID：200903094258982088
整合器およびプラズマ処理装置
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
高山 宏志
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-294527
公開番号（公開出願番号）：特開2001-118700
出願日： 1999年10月15日
公開日（公表日）： 2001年04月27日
要約：
【要約】【課題】 100MHz以上の高周波電力を供給する場合でも、大型化を招くことなく、整合時間が長くなることがなく、十分に高周波負荷のインピーダンスを伝送路インピーダンスに整合させることができる整合器およびそれを用いたプラズマ処理装置を提供すること。【解決手段】 整合器41は、高周波電源40からの高周波エネルギーをプラズマ生成電極21に伝送する共振棒61と、共振棒61および電極21に直列に接続されインピーダンス複素数の虚部を調整する可変コンデンサー62と、共振棒61の外周に設けられた接地された筐体63と、共振棒61へ高周波エネルギーを励起させかつインピーダンス複素数の実部の調整するリンクコイル64と、高周波電源40からプラズマを介して接地に至るまでの間が整合状態で直列共振回路を構成するように可変コンデンサー62およびリンクコイル64の駆動部を制御するコントローラ69とを具備する。
請求項（抜粋）：
高周波電源と高周波負荷導入部との間に設けられ、高周波負荷のインピーダンスを伝送路インピーダンスに整合させる整合器であって、高周波電源からの高周波エネルギーを高周波負荷導入部に伝送する共振棒と、前記共振棒および前記高周波負荷導入部に直列に接続され、インピーダンス複素数の虚部の調整を行う可変コンデンサーと、前記共振棒の外周に設けられた接地された筐体と、前記共振棒へ高周波エネルギーを励起させ、かつインピーダンス複素数の実部の調整を行う可変結合給電部とを具備し、前記高周波電源から高周波負荷に至るまでの間が、整合状態で直列共振回路を構成するように、前記可変コンデンサーおよび前記可変結合給電部が調整されることを特徴とする整合器。
IPC (4件)：
H05H 1/46
, C23C 16/505
, H01L 21/3065
, H03H 7/40
H05H 1/46 R
, H05H 1/46 M
, C23C 16/505
, H03H 7/40
, H01L 21/302 C
4K030FA03
, 4K030HA07
, 4K030JA18
, 4K030KA30
, 4K030KA45
, 5F004AA16
, 5F004BA04
, 5F004BA09
, 5F004BB11
, 5F004BB18
, 5F004BB22
, 5F004BB23
, 5F004BB25
, 5F004BB28
, 5F004BC08
