特許
J-GLOBAL ID：200903094304940840
位置合わせ装置及び位置合わせ方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
仁科 勝史
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-125223
公開番号（公開出願番号）：特開2001-308148
出願日： 2000年04月26日
公開日（公表日）： 2001年11月02日
要約：
【要約】【課題】上下同時観察カメラの上カメラ及び下カメラの相対的ズレ量を算出し、補正した正確な位置合わせを行うこと。【解決手段】1.ツールと同一の支持体にキャリブレーションカメラを設ける。2.キャリブレーションカメラの下方にターゲットマークを設ける。3.移動可能なターゲットマークの下方に上下同時観察カメラを設ける。4.上下同時観察カメラの下方のテーブル上にターゲットマークを設ける。5.キャリブレーションカメラで移動可能なターゲットマークとテーブル上のターゲットマークを認識する。6.上下同時観察カメラの上カメラで移動可能なターゲットマークを認識する。7.上下同時観察カメラの下カメラでテーブルのターゲットマークを認識する。8.上カメラと下カメラとの相対的位置ズレを算出して、位置合わせを行う。
請求項（抜粋）：
電子部品を保持するツールと基板等を載置するテーブルとを相対移動可能に設置し、相互に位置合わせを行って基板等に電子部品を搭載する装置において、ツールと同一の支持体に支持されたキャリブレーションカメラと、キャリブレーションカメラの下方に設置されキャリブレーションカメラと相対的に移動可能とされたターゲットマークと、移動可能なターゲットマークの下方に設置され移動可能なターゲットマークと相対的に移動可能とされた上下同時観察カメラと、上下同時観察カメラの下方のテーブル上に形成されたターゲットマークとを設け、キャリブレーションカメラで移動可能なターゲットマークとテーブル上のターゲットマークを認識し、上下同時観察カメラの上方側観察部で移動可能なターゲットマークを認識し、上下同時観察カメラの下方側観察部でテーブル上のターゲットマークを認識し、各認識結果を基に上下同時観察カメラの上方側観察部と下方側観察部との相対的位置ズレを算出して、位置合わせを行うことを特徴とする位置合わせ装置。
IPC (3件)：
H01L 21/60 311
, H01L 21/52
, H05K 13/04
H01L 21/60 311 T
, H01L 21/52 F
, H01L 21/52 C
, H05K 13/04 M
5E313AA03
, 5E313AA11
, 5E313FF24
, 5E313FF29
, 5E313FF32
, 5F044PP17
, 5F047AA17
, 5F047FA15
, 5F047FA34
, 5F047FA73
, 5F047FA79
