検査装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：小池晃 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-164448
公開番号（公開出願番号）：特開2000-352507
出願日： 1999年06月10日
公開日（公表日）： 2000年12月19日
要約：

【要約】【課題】半導体ウェハ等の検査装置として、より微細なデバイスパターンの検査を行うことが可能な検査装置を提供する。【解決手段】検査装置に、被検査物を支持するとともに当該被検査物を所定の検査対象位置へと移動させる被検査物支持手段と、被検査物支持手段によって支持された被検査物を紫外光により照明する紫外光照明手段と、紫外光照明手段により照明された被検査物からの反射光又は透過光を検出して被検査物の画像を撮像する紫外光撮像手段と、紫外光撮像手段により撮像された画像を処理する画像処理手段とを設ける。そして、紫外光撮像手段により撮像された画像を、画像処理手段により処理し解析することで、被検査物を検査する。

請求項（抜粋）：

被検査物を支持するとともに当該被検査物を所定の検査対象位置へと移動させる被検査物支持手段と、上記被検査物支持手段によって支持された被検査物を紫外光により照明する紫外光照明手段と、上記紫外光照明手段により照明された被検査物からの反射光又は透過光を検出して被検査物の画像を撮像する紫外光撮像手段と、上記紫外光撮像手段により撮像された画像を処理する画像処理手段とを備え、上記紫外光撮像手段により撮像された画像を、上記画像処理手段により処理し解析することで、被検査物を検査することを特徴とする検査装置。

IPC (5件)：

G01B 11/24 , G01B 11/30 , G01M 11/00 , G01N 21/88 , H01L 21/66

FI (5件)：

G01B 11/24 F , G01B 11/30 A , G01M 11/00 T , H01L 21/66 J , G01N 21/88 645 A

Fターム (77件)：

2F065AA49 , 2F065AA61 , 2F065BB02 , 2F065CC19 , 2F065DD03 , 2F065DD14 , 2F065FF02 , 2F065FF42 , 2F065GG02 , 2F065GG04 , 2F065GG22 , 2F065GG24 , 2F065HH04 , 2F065HH13 , 2F065HH15 , 2F065JJ03 , 2F065JJ05 , 2F065JJ09 , 2F065JJ26 , 2F065LL00 , 2F065LL05 , 2F065LL12 , 2F065NN02 , 2F065NN05 , 2F065NN06 , 2F065NN20 , 2F065PP11 , 2F065PP12 , 2F065PP13 , 2F065QQ23 , 2F065QQ24 , 2F065QQ25 , 2F065QQ26 , 2F065RR01 , 2F065SS03 , 2F065SS04 , 2F065SS13 , 2F065TT01 , 2F065TT02 , 2G051AA51 , 2G051AB01 , 2G051AB07 , 2G051BA05 , 2G051BA10 , 2G051BA20 , 2G051BB11 , 2G051BB17 , 2G051CA03 , 2G051CA04 , 2G051CB01 , 2G051CB02 , 2G051DA03 , 2G051DA08 , 2G051EA11 , 2G051EA12 , 2G051EB01 , 2G051EC01 , 2G086EE12 , 4M106AA01 , 4M106BA04 , 4M106BA05 , 4M106BA07 , 4M106CA39 , 4M106DB04 , 4M106DB07 , 4M106DB08 , 4M106DB30 , 4M106DJ02 , 4M106DJ04 , 4M106DJ05 , 4M106DJ06 , 4M106DJ07 , 4M106DJ11 , 4M106DJ18 , 4M106DJ23 , 4M106DJ24 , 4M106DJ40

引用特許：

出願人引用 (23件)

特開平4-165641
特表昭62-502217
特開平2-073141

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審査官引用 (23件)

特開平4-165641
特開平4-165641
特表昭62-502217

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