特許
J-GLOBAL ID:200903094817250173
光ファイバプローブ、光検出装置、及び光検出方法
発明者:
,
,
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
園田 敏雄
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2004-205254
公開番号(公開出願番号):特開2006-029831
出願日: 2004年07月12日
公開日(公表日): 2006年02月02日
要約:
【課題】光プローブを試料面に対し常に近接させる必要をなくして、光プローブと試料との接触の危険性をなくすることにより、測定時の走査速度を上げることができるようにして、測定範囲の拡大と測定時間の短縮をすること。【解決手段】光源から射出された光を伝搬させるコアを有する光ファイバにおいて、該コア先端から光を射出する光プローブが形成されて成る光ファイバプローブであって、 上記光ファイバを伝搬する伝搬光の光軸に対する、上記光プローブの表面の一部又は全面における法線の傾斜角が、上記伝搬光の全反射角未満で、かつ0度より大きいことである。【選択図】図1-1
請求項(抜粋):
光源から射出された光を伝搬させるコアを有する光ファイバにおいて、該コア先端から光を射出する光プローブが形成されて成る光ファイバプローブであって、
上記光ファイバを伝搬する伝搬光の光軸に対する、上記光プローブの表面の一部又は全面における法線の傾斜角が、上記伝搬光の全反射角未満で、かつ0度より大きいことを特徴とする光ファイバプローブ。
IPC (2件):
FI (2件):
Fターム (2件):
引用特許:
出願人引用 (3件)
-
特許第3231675号公報
-
光ファイバプローブ
公報種別:公開公報
出願番号:特願平10-075735
出願人:財団法人神奈川科学技術アカデミー
-
欠陥検査装置および欠陥検査方法
公報種別:公開公報
出願番号:特願平10-220477
出願人:松下電器産業株式会社
審査官引用 (9件)
全件表示
引用文献:
前のページに戻る