特許
J-GLOBAL ID：200903095022106631
インクジェットヘッドの製造方法並びにインクジェットヘッド及びインクジェット式記録装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (11件)：
前田 弘
, 小山 廣毅
, 竹内 宏
, 嶋田 高久
, 竹内 祐二
, 今江 克実
, 藤田 篤史
, 二宮 克也
, 原田 智雄
, 後藤 高志
, 井関 勝守
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-012431
公開番号（公開出願番号）：特開2004-223804
出願日： 2003年01月21日
公開日（公表日）： 2004年08月12日
要約：
【課題】インクジェットヘッドにおいて、全てのノズル孔に亘って均一なインク吐出性能が得られるようにする。【解決手段】圧力室部材を形成するための素材に対し、レーザ加工装置50を用いて、そのレーザ発生装置51から出力されたレーザ光を回折光学素子57によって分割して得られる複数のレーザビームにより複数の同じパターンで加工を施すことで、圧力室部材を形成し、圧電体層と2つの電極層とを、該圧電体層が2つの電極層間に介在するように積層し、上記形成した圧力室部材に、上記積層物を接合し、この接合後に、上記積層物の少なくとも圧電体層及び上記圧力室部材と反対側の電極層に対し、上記圧力室部材形成時と同じレーザ加工装置50を用いて、複数のレーザビームにより複数の同じパターンで加工を施すことで、アクチュエータを形成する。【選択図】 図11
請求項（抜粋）：
インクが充填される複数の圧力室を構成するための圧力室部材と、該圧力室部材に接合され、圧電体層と該圧電体層の両面にそれぞれ設けられた2つの電極層とを有し、上記各圧力室の容積が減少するように変形して各圧力室内のインクを吐出させるアクチュエータとを備えたインクジェットヘッドの製造方法であって、
上記圧力室部材を形成するための素材に対し、少なくともレーザ発生装置、回折光学素子及びレンズを有するレーザ加工装置を用いて、上記レーザ発生装置から出力されたレーザ光を上記回折光学素子によって分割して得られる複数のレーザビームにより複数の同じパターンで加工を施すことで、圧力室部材を形成する圧力室部材形成工程と、
圧電体層と2つの電極層とを、該圧電体層が2つの電極層間に介在するように積層する積層工程と、
上記圧力室部材形成工程で形成した圧力室部材に、上記積層工程で積層した積層物を接合する接合工程と、
上記接合工程後に、上記積層物の少なくとも圧電体層及び上記圧力室部材と反対側の電極層に対し、上記圧力室部材形成工程と同じレーザ加工装置を用いて、レーザ発生装置から出力されたレーザ光を回折光学素子によって分割して得られる複数のレーザビームにより複数の同じパターンで加工を施すことで、アクチュエータを形成するアクチュエータ形成工程とを含むことを特徴とするインクジェットヘッドの製造方法。
IPC (3件)：
B41J2/16
, B41J2/045
, B41J2/055
B41J3/04 103H
, B41J3/04 103A
2C057AF93
, 2C057AG12
, 2C057AG44
, 2C057AP02
, 2C057AP23
, 2C057AP25
, 2C057AP52
, 2C057AQ06
, 2C057BA04
, 2C057BA14
