特許
J-GLOBAL ID:200903095445216301
光スイッチ
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
森岡 正樹
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平10-358727
公開番号(公開出願番号):特開2000-180905
出願日: 1998年12月17日
公開日(公表日): 2000年06月30日
要約:
【要約】【課題】本発明は、光スイッチ素子の個数を少なくでき、挿入損失やクロストークが小さく、適切な間隔のポート間の切り替えを駆動電圧とバランスのとれたサイズで実現できる光スイッチを提供することを目的とする。【解決手段】入射用端面7にはチャンネル光導波路11および12が設けられ、平行に入射した光ビームはスラブ型光導波路部3で発散し、第1の薄膜レンズ9によって平行光とされた後、第2の薄膜レンズ10によって出射用端面8へ集光され、チャンネル光導波路13および14を経て各光ファイバーへ入射する。第1のプリズム型上部電極5のうちひとつと、下部電極である基板1との間に電圧を印加することにより偏向され、さらに第2のプリズム型上部電極6のうちひとつと、下部電極である基板1との間に電圧を印加することにより先の偏向と逆方向に偏向され、第2の薄膜レンズ10で集光されて光経路を切り替えられる。
請求項(抜粋):
導電性または半導電性の下部電極となる単結晶基板と、前記単結晶基板表面に形成されたエピタキシャルまたは単一配向性の酸化物バッファ層と、前記バッファ層上に設けられ、前記バッファ層よりも大きい屈折率を有するエピタキシャルまたは単一配向性の電気光学効果を有する酸化物強誘電体薄膜の光導波路と、前記単結晶基板の光入射用端面側に設けられ、N(1≦N)個の入射光を平行光にする第1の薄膜レンズと、前記N個の平行光をそれぞれ偏向させるN個の第1のプリズム型上部電極と、偏向させられた前記N個の平行光をさらにそれぞれ偏向させるN個の第2のプリズム型上部電極と、前記単結晶基板の光出射用端面側に設けられ、前記N個の第2のプリズム型上部電極により偏向した前記平行光を集光して前記光射出用端面からM(1≦M)個の出射光として出射させる第2の薄膜レンズとを備えたことを特徴とする光スイッチ。
Fターム (18件):
2K002AA02
, 2K002AB05
, 2K002BA06
, 2K002CA02
, 2K002CA03
, 2K002CA22
, 2K002CA25
, 2K002DA06
, 2K002DA09
, 2K002EA08
, 2K002EA14
, 2K002EB01
, 2K002FA04
, 2K002FA05
, 2K002FA06
, 2K002FA07
, 2K002GA10
, 2K002HA02
引用特許:
審査官引用 (9件)
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特開平4-088313
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特開平4-181231
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光走査素子及び画像形成装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平7-325832
出願人:富士ゼロックス株式会社
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