特許
J-GLOBAL ID：200903081865118029
小さな入射ビームスポットを生成するための原子間力顕微鏡
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
中島 淳 (外2名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-512687
公開番号（公開出願番号）：特表2000-517433
出願日： 1997年08月20日
公開日（公表日）： 2000年12月26日
要約：
【要約】原子間力顕微鏡は、入射ビーム(44)の光の波長に十分な開口数を有する光学系を用いて、少なくとも一次元で8μm又は8μm未満のサイズのスポットをカンチレバー(14)上に形成する。調節可能なアパーチュア(34)は、カンチレバー(14)上の入射ビームスポットのサイズ及び/又は形状を制御するのに用いることができる。入射ビーム及びカンチレバーから反射されたビームの一部は重なり合い、入射ビームの焦点面がカンチレバー(14)の平面に平行になるように向けられる。入射及び反射光ビームは、四分の一波長板(42)と関連したビームスプリッター(40)を用いて偏光することにより分割される。移動可能な焦点レンズと結合された、光学系及び観察システムでは一般的である共焦点観察システムを用いて、焦点を合わせることができる。
請求項（抜粋）：
少なくとも1つのカンチレバーが取り付けられており光学検出器を含む、小さな入射ビームスポットを生成するための改良された原子間力顕微鏡であって、 光源、及び焦点合わせされた入射ビームを生成する手段を含む光学系と、 前記焦点合わせされた入射ビームを前記カンチレバー上に向かわせ、前記カンチレバーから前記検出器へ反射させる手段と、 を含み、 前記光学系は前記光源からの光の波長に対して十分な開口数を有し、これにより、前記焦点合わせされたビームは少なくとも一次元で8μm又は8μm未満のサイズを有するスポットを前記カンチレバー上に形成する、 原子間力顕微鏡。
IPC (3件)：
G01N 13/16
, G01B 7/34
, G01B 21/30
G01N 13/16 A
, G01B 7/34 Z
, G01B 21/30 Z
